发明授权
CN101834202B 降低热载流子效应的N型横向绝缘栅双极型器件
失效 - 权利终止
- 专利标题: 降低热载流子效应的N型横向绝缘栅双极型器件
- 专利标题(英): N-type lateral insulated gate bipolar device capable of reducing hot carrier effect
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申请号: CN201010146509.9申请日: 2010-04-13
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公开(公告)号: CN101834202B公开(公告)日: 2011-11-16
- 发明人: 钱钦松 , 孙虎 , 孙伟锋 , 庄华龙 , 陆生礼 , 时龙兴
- 申请人: 东南大学
- 申请人地址: 江苏省无锡市新区菱湖大道99号
- 专利权人: 东南大学
- 当前专利权人: 东南大学
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市新区菱湖大道99号
- 代理机构: 南京经纬专利商标代理有限公司
- 代理商 黄雪兰
- 主分类号: H01L29/739
- IPC分类号: H01L29/739 ; H01L29/06 ; H01L29/36
摘要:
一种降低热载流子效应的N型横向绝缘栅双极型器件,包括:P型衬底,在P型衬底上设有埋氧,在埋氧上设有P型外延层,在P型外延层上设有N型阱和P阱区,在N型阱上设有N型缓冲阱,在N型缓冲阱上设有P型阳区,在P阱区上设有N型阴区和P型体接触区,而场氧化层,金属层,栅氧化层,多晶硅栅以及氧化层设置在所述器件的上表面,其特征在于在P阱区的下部、埋氧之上设有P型埋层,且插入P型外延层一部分,与P阱区整体构成反向的“L”型P区,这种结构可以将器件的空穴电流引向底部,降低了器件沟道区的离子产生率和纵向电场,同时降低了热电子的温度,从而有效抑制了器件的热载流子效应。
公开/授权文献
- CN101834202A 降低热载流子效应的N型横向绝缘栅双极型器件 公开/授权日:2010-09-15
IPC分类: