发明授权
CN101771081B N型超结横向双扩散半导体金属氧化物晶体管
失效 - 权利终止
- 专利标题: N型超结横向双扩散半导体金属氧化物晶体管
- 专利标题(英): N-type super-junction transverse double-diffusion semiconductor metallic oxide transistor
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申请号: CN200910263298.4申请日: 2009-12-18
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公开(公告)号: CN101771081B公开(公告)日: 2011-04-20
- 发明人: 孙伟锋 , 杨淼 , 夏晓娟 , 钱钦松 , 陈越政 , 陆生礼 , 时龙兴
- 申请人: 东南大学
- 申请人地址: 江苏省无锡市新区菱湖大道99号
- 专利权人: 东南大学
- 当前专利权人: 东南大学
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市新区菱湖大道99号
- 代理机构: 南京经纬专利商标代理有限公司
- 代理商 黄雪兰
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L29/06 ; H01L21/336
摘要:
一种N型超结横向双扩散半导体金属氧化物晶体管,包括:P型衬底,在P型衬底上设有超结结构及P型体区,超结结构由连接源漏区方向相间分布的N型区和P型区构成,在P型体区上方设有N型源区、P型体接触区及栅氧化层,在超结结构的上方设有N型漏区,在超结结构上方,且位于N型漏区以外的区域设有第一型场氧化层,在栅氧化层上方设有多晶硅栅,在N型源区、P型体接触区、N型漏区、多晶硅栅和第一型场氧化层上方设有第二型场氧化层,N型源区、N型漏区、P型体接触区及多晶硅栅均接有穿通第二型场氧化层的金属引线,其特征在于在P型衬底内设有N型缓冲区,N型缓冲区位于超结结构中P型区的下方,且与超结结构中P型区底部相接。
公开/授权文献
- CN101771081A N型超结横向双扩散半导体金属氧化物晶体管 公开/授权日:2010-07-07
IPC分类: