发明授权
- 专利标题: 流体控制装置
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申请号: CN200880017711.2申请日: 2008-05-26
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公开(公告)号: CN101680561B公开(公告)日: 2011-12-21
- 发明人: 大加濑亘 , 守谷修司 , 中田知宏 , 筱原努 , 山路道雄
- 申请人: 东京毅力科创株式会社 , 株式会社富士金
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 东京毅力科创株式会社,株式会社富士金
- 当前专利权人: 株式会社富士金
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京市金杜律师事务所
- 代理商 陈伟
- 优先权: 144918/2007 2007.05.31 JP
- 国际申请: PCT/JP2008/059628 2008.05.26
- 国际公布: WO2008/149702 JA 2008.12.11
- 进入国家日期: 2009-11-27
- 主分类号: F16K27/00
- IPC分类号: F16K27/00 ; H01L21/02 ; F17D1/04 ; C23C16/455
摘要:
本发明提供一种流体控制装置,能够实现零件数量的削减和组装作业效率的提高。相对的拆卸频率较高的压力显示器(4)通过来自上方的螺钉部件(17)与位于下方的基座块(5)结合。相对的拆卸频率较低的开闭阀(6)在下方具有一体设置的块状主体(6a)。开闭阀(6)的主体(6a)被前后方向上的螺钉部件(18)结合在基座块(5)上。
公开/授权文献
- CN101680561A 流体控制装置 公开/授权日:2010-03-24