发明授权
CN101665253B 多晶硅提纯方法及用于多晶硅提纯的坩埚、提纯设备
失效 - 权利终止
- 专利标题: 多晶硅提纯方法及用于多晶硅提纯的坩埚、提纯设备
- 专利标题(英): Polysilicon purification method and crucible and purification device used for polysilicon purification
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申请号: CN200910177448.X申请日: 2009-09-29
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公开(公告)号: CN101665253B公开(公告)日: 2010-10-13
- 发明人: 赵友文 , 董志远 , 田宝利
- 申请人: 包头市山晟新能源有限责任公司
- 申请人地址: 内蒙古自治区包头市土默特右旗沟门镇纳太村北
- 专利权人: 包头市山晟新能源有限责任公司
- 当前专利权人: 包头市山晟新能源有限责任公司
- 当前专利权人地址: 内蒙古自治区包头市土默特右旗沟门镇纳太村北
- 代理机构: 隆天国际知识产权代理有限公司
- 代理商 吕俊清
- 主分类号: C01B33/037
- IPC分类号: C01B33/037 ; C30B28/06 ; C30B29/06
摘要:
一种多晶硅提纯方法,包括步骤:在坩埚中使含有杂质的低纯度的多晶硅保持熔融态一定时间;通过环绕设置在坩埚臂周围的感应线圈与坩埚的相对移动使所述熔融态的多晶硅液体从底部开始向顶部逐渐冷却凝固;从坩埚中提取冷却凝固后的所述多晶硅,通过机械切除获得提纯后的所述多晶硅。本发明还公开了一种用于多晶硅提纯的坩埚及具有该坩埚的提纯设备。本发明的多晶硅提纯方法及设备,具有可操作性强,成本低,提纯过程中无二次污染等优点。
公开/授权文献
- CN101665253A 多晶硅提纯方法及用于多晶硅提纯的坩埚、提纯设备 公开/授权日:2010-03-10