发明授权
CN101596694B 一种掩膜版倒边磨边机及其加工过程
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种掩膜版倒边磨边机及其加工过程
- 专利标题(英): Masking film chamfering edge edger and machining process thereof
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申请号: CN200910158084.0申请日: 2009-07-20
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公开(公告)号: CN101596694B公开(公告)日: 2010-10-13
- 发明人: 林宜龙 , 田亮 , 张松岭 , 林建昌 , 周冠彬 , 唐召来
- 申请人: 格兰达技术(深圳)有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市宝安区龙华大浪同富裕工业园华荣路龙富工业区3、4、7、8栋1-4层
- 专利权人: 格兰达技术(深圳)有限公司
- 当前专利权人: 格兰达技术(深圳)有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市宝安区龙华大浪同富裕工业园华荣路龙富工业区3、4、7、8栋1-4层
- 代理机构: 北京英特普罗知识产权代理有限公司
- 代理商 孙丽芳
- 主分类号: B24B9/02
- IPC分类号: B24B9/02 ; G03F1/00
摘要:
本发明公开了一种掩膜版倒边磨边机及其加工过程,属于对掩膜版进行倒边和磨边加工领域,掩膜版倒边磨边机包括放置掩膜版并对其进行调整定位的掩膜版支撑平台装置;在倒边磨边传动装置的带动下分别对掩膜版进行倒边和磨边加工的倒边装置和磨边装置;以及,电控系统,控制倒边磨边传动装置的倒边和磨边动力传动系统、倒边装置的倒边磨头旋转电机,以及磨边装置的磨边磨头旋转电机协调动作。在掩膜版倒边磨边机进行加工过程中,电控系统控制倒边装置和磨边装置对掩膜版的一边依次进行倒边加工和磨边加工。本发明所述掩膜版倒边磨边机可以自动完成对掩膜版的加工处理,提高了加工效率,减小了人为因素对加工质量的影响。
公开/授权文献
- CN101596694A 一种掩膜版倒边磨边机及其加工过程 公开/授权日:2009-12-09