一种掩膜版倒边磨边机及其加工过程
摘要:
本发明公开了一种掩膜版倒边磨边机及其加工过程,属于对掩膜版进行倒边和磨边加工领域,掩膜版倒边磨边机包括放置掩膜版并对其进行调整定位的掩膜版支撑平台装置;在倒边磨边传动装置的带动下分别对掩膜版进行倒边和磨边加工的倒边装置和磨边装置;以及,电控系统,控制倒边磨边传动装置的倒边和磨边动力传动系统、倒边装置的倒边磨头旋转电机,以及磨边装置的磨边磨头旋转电机协调动作。在掩膜版倒边磨边机进行加工过程中,电控系统控制倒边装置和磨边装置对掩膜版的一边依次进行倒边加工和磨边加工。本发明所述掩膜版倒边磨边机可以自动完成对掩膜版的加工处理,提高了加工效率,减小了人为因素对加工质量的影响。
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