- 专利标题: 能使LED的P-GaN层表面粗化的制作方法
- 专利标题(英): Preparation method for coarsing P-GaN layer surface of LED
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申请号: CN200910046834.5申请日: 2009-02-27
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公开(公告)号: CN101494272B公开(公告)日: 2010-12-29
- 发明人: 郝茂盛 , 周健华 , 张楠 , 陈诚 , 潘尧波
- 申请人: 上海蓝光科技有限公司 , 彩虹集团公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区芳春路400号
- 专利权人: 上海蓝光科技有限公司,彩虹集团公司
- 当前专利权人: 上海蓝光科技有限公司,彩虹集团公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区芳春路400号
- 代理机构: 上海光华专利事务所
- 代理商 余明伟
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00
摘要:
本发明公开了一种能使LED的P-GaN层表面粗化的制作方法,其首先在半导体衬底上依次生长出N-GaN层、量子阱层、P-GaN层、及非掺杂的粗化GaN层,然后采用ICP或离子干法刻蚀所述非掺杂的粗化GaN层以使所述非掺杂的粗化GaN层的粗化表面形状转移至所述P-GaN层,从而使所述P-GaN层表面粗化,相对于现有工艺,此法操作简单,且粗化效果更为理想。
公开/授权文献
- CN101494272A 能使LED的P-GaN层表面粗化的制作方法 公开/授权日:2009-07-29
IPC分类: