能使LED的P-GaN层表面粗化的制作方法
摘要:
本发明公开了一种能使LED的P-GaN层表面粗化的制作方法,其首先在半导体衬底上依次生长出N-GaN层、量子阱层、P-GaN层、及非掺杂的粗化GaN层,然后采用ICP或离子干法刻蚀所述非掺杂的粗化GaN层以使所述非掺杂的粗化GaN层的粗化表面形状转移至所述P-GaN层,从而使所述P-GaN层表面粗化,相对于现有工艺,此法操作简单,且粗化效果更为理想。
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