- 专利标题: 用于低寄生阻抗封装的顶部焊料加强的半导体器件及方法
- 专利标题(英): Solder-top enhanced semiconductor device and method for low parasitic impedance packaging
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申请号: CN200810168562.1申请日: 2008-09-26
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公开(公告)号: CN101425494B公开(公告)日: 2010-07-07
- 发明人: 弗兰茨娃·赫尔伯特 , 安荷·叭剌 , 刘凯 , 孙明
- 申请人: 万国半导体股份有限公司
- 申请人地址: 百慕大哈密尔敦维多利亚街22号佳能院
- 专利权人: 万国半导体股份有限公司
- 当前专利权人: 重庆万国半导体科技有限公司
- 当前专利权人地址: 百慕大哈密尔敦维多利亚街22号佳能院
- 代理机构: 上海申汇专利代理有限公司
- 代理商 白璧华; 翁若莹
- 优先权: 11/932,845 2007.10.31 US
- 主分类号: H01L23/485
- IPC分类号: H01L23/485 ; H01L21/60
摘要:
本发明提出一种用于低寄生阻抗封装的顶部焊料加强的半导体器件及方法。该顶部焊料器件包括带有图案化为接触区域和接触加强区域的顶部金属层的器件芯片。至少一个接触区域电连接到至少一个接触加强区域。每一个接触加强区域的顶部为用以增加复合厚度从而降低寄生阻抗的焊料层。制造顶部焊料器件的方法包括:a)通过光刻将顶部金属层图案化为接触区域和接触加强区域;b)使用模板印刷工艺在每一个接触加强区域的顶部形成焊料层以增加复合厚度。本发明的优点在于所提供的器件和方法使用标准的芯片层级的加工工艺,可以有效降低成本。
公开/授权文献
- CN101425494A 用于低寄生阻抗封装的顶部焊料加强的半导体器件及方法 公开/授权日:2009-05-06
IPC分类: