基于中心对称型的大面积金属等离子体形成装置及方法
摘要:
基于中心对称型的大面积金属等离子体形成装置及方法,它涉及一种金属等离子体形成装置及金属等离子体形成方法。本发明的目的是针对磁过滤阴极真空弧的引出口径较小难于实现对大尺寸零件处理的问题。本发明的装置四至六个一体式脉冲阴极弧源轴对称分别固定在壳体的上侧壁上。方法一、钛阴极的放电电流为50~200A,流过螺线管的电流大小为1.5~2.5A。方法二、通入40~60sccm的氮气,将工作真空度调到2.0×10-1~3.0×10-1Pa,钛阴极的放电电流为50~200A。方法三、碳阴极的放电电流为50~200A,通入3~7sccm的氩气。本发明的装置可实现大型零件的处理;方法工艺流程简单、提高了生产效率。
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