- 专利标题: 金属基带上生长的多层隔离层和YBCO涂层导体的制备方法
- 专利标题(英): Method for preparing multi-layer isolation layer and YBCO coating conductor on metal base band
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申请号: CN200710098620.3申请日: 2007-04-23
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公开(公告)号: CN101295560B公开(公告)日: 2010-06-30
- 发明人: 杨坚 , 张华 , 刘慧舟 , 周其 , 古宏伟
- 申请人: 北京有色金属研究总院
- 申请人地址: 北京市新街口外大街2号
- 专利权人: 北京有色金属研究总院
- 当前专利权人: 有研工程技术研究院有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市新街口外大街2号
- 代理机构: 北京北新智诚知识产权代理有限公司
- 代理商 程凤儒
- 主分类号: H01B12/06
- IPC分类号: H01B12/06 ; H01B13/00 ; C23C14/35 ; C23C14/54 ; C23C14/06
摘要:
一种金属基带上生长的多层隔离层和YBCO涂层导体,是在具有立方织构的金属基带上依次有氧化钇膜、钇稳定二氧化锆膜、二氧化铈膜三层膜、超导层YBCO。一种金属基带上生长的多层隔离层和YBCO涂层导体的制备方法,包括:(1)将金属基带清洁处理;(2)将金属基带缠绕放带轮和收带轮上;(3)以Y金属为溅射靶材,预溅射;(4)使金属基带经过沉积区,溅射沉积氧化钇;(5)以Zr-Y金属为溅射靶材,预溅射;(6)使金属基带经过沉积区,溅射沉积钇稳定二氧化锆;(7)以金属Ce为溅射靶材,预溅射;(8)使金属基带经过沉积区,溅射沉积二氧化铈;(9)磁控溅射沉积YBCO涂层;(10)得到金属基带上生长的多层隔离层和YBCO涂层导体。该方法以水气代替氧气作为反应气体。制得的多层隔离层具有单一立方织构,并在其上外延生长YBCO涂层。本发明的每层膜的生长均采用磁控溅射方法,降低成本。
公开/授权文献
- CN101295560A 金属基带上生长的多层隔离层和YBCO涂层导体及制备方法 公开/授权日:2008-10-29