包括通孔的结构及其制造方法
Abstract:
本发明提供一种结构及相关方法,该结构包括在铜布线和介电层的无衬界面处的难熔金属环。在一实施例中,一结构包括:铜布线,与其上的介电层具有无衬界面;通孔,从该铜布线向上延伸穿过该介电层;以及难熔金属环,从该通孔的侧面部分沿该无衬界面延伸。难熔金属环通过改善通孔周围的界面来防止电迁移造成的狭缝空缺,并防止空缺成核出现在通孔附近。另外,在通孔和介电层无衬界面附近存在空缺时,难熔金属环提供电冗余。
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