发明授权
- 专利标题: 图像传感器半导体器件
- 专利标题(英): Image sensor semiconductor device
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申请号: CN200710127069.0申请日: 2007-06-28
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公开(公告)号: CN101241923B公开(公告)日: 2011-08-24
- 发明人: 王文德 , 杨敦年 , 许慈轩 , 庄建祥
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹科学工业园区
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹科学工业园区
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 陶凤波
- 优先权: 11/672,681 2007.02.08 US
- 主分类号: H01L27/146
- IPC分类号: H01L27/146
摘要:
本发明公开了一种图像传感器半导体器件。此半导体器件包括传感组件,置于半导体基板内;层间介电材料(ILD),置于半导体基板上;以及沟槽,置于ILD内,覆盖并包围传感组件,且填充有第一介电材料。
公开/授权文献
- CN101241923A 图像传感器半导体器件 公开/授权日:2008-08-13
IPC分类: