发明授权

一种离子束导管
摘要:
本发明涉及一种用于离子注入机中的离子束,其位于注入机中与半导体晶片相邻近的位置。这种导管用来约束在注入过程中晶片中和所使用的带电粒子。根据本发明,一种导管包括一个轴,沿着所述轴接收离子束的开口端,与所述轴基本平行的导管壁,和穿过所述导管壁的至少一个开口,所述导管壁从所述导管内到外形成气体流通通道,所述通道具有与所述导管轴成锐角排列的长度,及横向于所述长度的最小尺寸,以便垂直于所述导管轴的通过通道的视线被充分阻挡。
公开/授权文献
0/0