发明授权
CN101140847B 一种离子束导管
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种离子束导管
- 专利标题(英): An ion beam guide tube
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申请号: CN200710136246.1申请日: 2007-07-12
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公开(公告)号: CN101140847B公开(公告)日: 2011-06-01
- 发明人: R·D·戈德堡
- 申请人: 应用材料有限公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 应用材料有限公司
- 当前专利权人: 应用材料有限公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京纪凯知识产权代理有限公司
- 代理商 赵蓉民
- 优先权: 60/830,117 2006.07.12 US
- 主分类号: H01J37/02
- IPC分类号: H01J37/02 ; H01J37/317 ; H01L21/265
摘要:
本发明涉及一种用于离子注入机中的离子束,其位于注入机中与半导体晶片相邻近的位置。这种导管用来约束在注入过程中晶片中和所使用的带电粒子。根据本发明,一种导管包括一个轴,沿着所述轴接收离子束的开口端,与所述轴基本平行的导管壁,和穿过所述导管壁的至少一个开口,所述导管壁从所述导管内到外形成气体流通通道,所述通道具有与所述导管轴成锐角排列的长度,及横向于所述长度的最小尺寸,以便垂直于所述导管轴的通过通道的视线被充分阻挡。
公开/授权文献
- CN101140847A 一种离子束导管 公开/授权日:2008-03-12