发明公开
CN101121171A 清洁装置及结合此装置的设备清洁方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 清洁装置及结合此装置的设备清洁方法
- 专利标题（英）： Cleaning device and method for cleaning the equipment joining with the same
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申请号： CN200710153019.X申请日： 2007-09-18
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公开(公告)号： CN101121171A公开(公告)日： 2008-02-13
- 发明人: 黄世欣 , 彭哲夫 , 倪明福 , 陈明鑫
- 申请人： 友达光电股份有限公司
- 申请人地址： 台湾省新竹
- 专利权人： 友达光电股份有限公司
- 当前专利权人： 友达光电股份有限公司
- 当前专利权人地址： 台湾省新竹
- 代理机构： 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 梁挥; 祁建国
- 主分类号： B08B5/04
- IPC分类号： B08B5/04 ; B08B3/10 ; B05B15/02
摘要：
本发明公开了一种清洁装置及结合此装置的设备清洁方法。清洁装置包含清洁载具及压力控制系统，清洁载具具有座部及外壳体彼此接合形成清洗腔，外壳体顶端设有导孔，座部内包含流体通道与待清洁物连通；压力控制系统则具有给压部与导孔压力相连，而使压力控制系统与清洁载具压力连通，其中压力控制系统借正负压的转换，于清洗腔及流体通道产生流体力而将残留材料移除。
公开/授权文献
- CN100579672C 清洁装置及结合此装置的设备清洁方法 公开/授权日：2010-01-13
IPC分类:
