公开(公告)号：CN100579672C

公开(公告)日：2010-01-13

申请号：CN200710153019.X

申请日：2007-09-18

申请人： 友达光电股份有限公司

发明人： 黄世欣 ,  彭哲夫 ,  倪明福 ,  陈明鑫

IPC分类号： B08B5/04 ,  B08B3/10 ,  B05B15/02

摘要： 本发明公开了一种清洁装置及结合此装置的设备清洁方法。清洁装置包含清洁载具及压力控制系统，清洁载具具有座部及外壳体彼此接合形成清洗腔，外壳体顶端设有导孔，座部内包含流体通道与待清洁物连通；压力控制系统则具有给压部与导孔压力相连，而使压力控制系统与清洁载具压力连通，其中压力控制系统借正负压的转换，于清洗腔及流体通道产生流体力而将残留材料移除。

公开(公告)号：CN101121171A

公开(公告)日：2008-02-13

申请号：CN200710153019.X

申请日：2007-09-18

申请人： 友达光电股份有限公司

发明人： 黄世欣 ,  彭哲夫 ,  倪明福 ,  陈明鑫

IPC分类号： B08B5/04 ,  B08B3/10 ,  B05B15/02

摘要： 本发明公开了一种清洁装置及结合此装置的设备清洁方法。清洁装置包含清洁载具及压力控制系统，清洁载具具有座部及外壳体彼此接合形成清洗腔，外壳体顶端设有导孔，座部内包含流体通道与待清洁物连通；压力控制系统则具有给压部与导孔压力相连，而使压力控制系统与清洁载具压力连通，其中压力控制系统借正负压的转换，于清洗腔及流体通道产生流体力而将残留材料移除。