清洁装置及结合此装置的设备清洁方法
摘要:
本发明公开了一种清洁装置及结合此装置的设备清洁方法。清洁装置包含清洁载具及压力控制系统,清洁载具具有座部及外壳体彼此接合形成清洗腔,外壳体顶端设有导孔,座部内包含流体通道与待清洁物连通;压力控制系统则具有给压部与导孔压力相连,而使压力控制系统与清洁载具压力连通,其中压力控制系统借正负压的转换,于清洗腔及流体通道产生流体力而将残留材料移除。
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