发明授权
CN101097991B 从增强型转变成耗尽型的有机场效应晶体管及制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 从增强型转变成耗尽型的有机场效应晶体管及制备方法
- 专利标题(英): Dual-operation mode organic field effect transistors and manufacturing method thereof
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申请号: CN200610089455.0申请日: 2006-06-28
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公开(公告)号: CN101097991B公开(公告)日: 2010-05-12
- 发明人: 刘云圻 , 吴卫平 , 王鹰 , 孙艳明 , 狄重安 , 徐新军 , 于贵 , 朱道本
- 申请人: 中国科学院化学研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区中关村北一街2号
- 专利权人: 中国科学院化学研究所
- 当前专利权人: 中国科学院化学研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区中关村北一街2号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 周国城
- 主分类号: H01L51/05
- IPC分类号: H01L51/05 ; H01L51/40
摘要:
本发明涉及有机场效应晶体管技术领域,公开一种双工作模式有机场效应晶体管及制备方法。包括衬底、栅极电极、绝缘层、插入半导体层、主体半导体层和源电极和漏电极。方法包括栅极金属的沉积;绝缘层的沉积;插入半导体层的沉积及有机主体半导体材料的沉积;器件测试。本发明有机场效应晶体管可以通过控制插入半导体层的厚度来控制导电沟道的性质,可实现同一个有机场效应晶体管的耗尽型和增强型双模式同时操作。与其它方法相比,可利用同一工艺制备得到可控掺杂半导体沟道的有机场效应晶体管。易于制备构筑由同质结或异质结构成的耗尽型或双模式场效应晶体管。在有机效应晶体管的可控制备和有机半导体逻辑门和集成电路中有应用价值。
公开/授权文献
- CN101097991A 一种双工作模式有机场效应晶体管及制备方法 公开/授权日:2008-01-02
IPC分类: