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全自动晶圆背面打标机
摘要:
本发明涉及一种IC晶圆打标的新设备,更准确地说,涉及用机械手将晶圆从上料箱中取出,再逐一送往晶圆方向检测装置、晶圆打标平台等装置,经过打标和检测后,由机械手取出放入下料箱的一种全自动晶圆背面打标机。该打标机由前、后两个区构成,其中前区上设置有电气控制装置和PC机,所述的前区与后区之间设置有隔板,隔板上设置有闸门进出口装置,前区的外侧设置有上料箱装置和下料箱装置,前区的内部设置有机械手和晶圆方向检测装置;后区的内部设置有晶圆打标平台装置,打标平台装置的上方和下方分别设置有标前检测装置和标后检测装置。
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