公开(公告)号：US20240246812A1

公开(公告)日：2024-07-25

申请号：US18564996

申请日：2022-06-22

申请人： UNIVERSITY OF WASHINGTON

发明人： Bo Zhang ,  Todd Anderson ,  Chris McAllister

IPC分类号： B81C1/00 ,  B81B7/00 ,  C03C15/00 ,  C03C17/22 ,  C03C17/245 ,  C23C16/02 ,  C23C16/34 ,  C23C16/40 ,  C23C16/50 ,  C23C16/56 ,  G01N33/487

CPC分类号： B81C1/00341 ,  B81B7/00 ,  C03C15/00 ,  C03C17/225 ,  C03C17/245 ,  C23C16/0227 ,  C23C16/345 ,  C23C16/401 ,  C23C16/50 ,  C23C16/56 ,  G01N33/48721 ,  B81B2203/0127 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/0133 ,  B81C2201/0176 ,  B81C2201/019 ,  C03C2218/152 ,  C03C2218/153 ,  C03C2218/32

摘要： An ultrathin free-standing solid state membrane, including an etched well on a glass wafer, and a layer of SiX deposited on a backside of the etched well on the glass wafer.