公开(公告)号：US20020155059A1

公开(公告)日：2002-10-24

申请号：US09840854

申请日：2001-04-24

Applicant: Tekna Plasma Systems Inc.

Inventor： Maher I. Boulos ,  Jerzy W. Jurewicz ,  Christine A. Abdel Messih Nessim

IPC: C01G023/07 ,  C23C016/00

CPC classification number: B82Y30/00 ,  B01J19/088 ,  B01J19/129 ,  B01J2219/0871 ,  B01J2219/0875 ,  B01J2219/0879 ,  B01J2219/0894 ,  C01B13/30 ,  C01G23/07 ,  C01G23/075 ,  C01P2002/50 ,  C01P2002/52 ,  C01P2002/72 ,  C01P2004/64 ,  C01P2006/12 ,  C09C1/36 ,  C09C1/3607 ,  C09C1/3669

Abstract: A process and apparatus for the synthesis of metal oxide nanopowder from a metal compound vapour is presented. In particular a process and apparatus for the synthesis of TiO2 nanopowder from TiCl4 is disclosed. The metal compound vapour is reacted with an oxidizing gas in an electrically induced RF frequency plasma thus forming a metal oxide vapour. The metal oxide vapour is rapidly cooled using a highly turbulent gas quench zone which quickly halts the particle growth process, yielding a substantial reduction in the size of metal oxide particles formed. The metal compound vapour can also be reacted with a doping agent to create a doped metal oxide nanopowder. Additionally, a process and apparatus for the inline synthesis of a coated metal oxide is disclosed wherein the metal oxide particles are coated with a surface agent after being cooled in a highly turbulent gas quench zone.

Abstract translation: 提出了一种从金属化合物蒸气合成金属氧化物纳米粉末的方法和装置。 特别地公开了一种用于从TiCl 4合成TiO 2纳米粉末的方法和装置。 金属化合物蒸气与电感应RF频率等离子体中的氧化气体反应，从而形成金属氧化物蒸气。 使用快速停止颗粒生长过程的高度湍流的气体骤冷区，快速冷却金属氧化物蒸汽，从而显着减少形成的金属氧化物颗粒的尺寸。 金属化合物蒸气也可以与掺杂剂反应以产生掺杂的金属氧化物纳米粉末。 此外，公开了一种用于在线合成涂覆的金属氧化物的方法和装置，其中在高度湍流的气体骤冷区域中冷却之后，金属氧化物颗粒被表面剂涂覆。

公开(公告)号：US20030143153A1

公开(公告)日：2003-07-31

申请号：US10313506

申请日：2002-12-06

Applicant: Tekna Plasma Systems, Inc.

Inventor： Maher I. Boulos ,  Jerzy W. Jurewicz ,  Christine A. Abdel Messih Nessim

IPC: C01G023/047 ,  B01J019/08

CPC classification number: B82Y30/00 ,  B01J19/088 ,  B01J19/129 ,  B01J2219/0871 ,  B01J2219/0875 ,  B01J2219/0879 ,  B01J2219/0894 ,  C01B13/30 ,  C01G23/07 ,  C01G23/075 ,  C01P2002/50 ,  C01P2002/52 ,  C01P2002/72 ,  C01P2004/64 ,  C01P2006/12 ,  C09C1/36 ,  C09C1/3607 ,  C09C1/3669 ,  C22B4/005 ,  C22B4/08 ,  C22B34/129

Abstract: A process and apparatus for the synthesis of metal oxide nanopowder from a metal compound vapour is presented. In particular a process and apparatus for the synthesis of TiO2 nanopowder from TiCl4 is disclosed. The metal compound vapour is reacted with an oxidizing gas in electrically induced RF frequency plasma thus forming a metal oxide vapour. The metal oxide vapour is rapidly cooled using a highly turbulent gas quench zone which quickly halts the particle growth process, yielding a substantial reduction in the size of metal oxide particles formed compared with known processes. The metal compound vapour can also react with a doping agent to create a doped metal oxide nanopowder. Additionally, a process and apparatus for the inline synthesis of a coated metal oxide is disclosed wherein the metal oxide particles are coated with a surface agent after being cooled in a highly turbulent gas quench zone.

Abstract translation: 提出了一种从金属化合物蒸气合成金属氧化物纳米粉末的方法和装置。 特别地公开了一种用于从TiCl 4合成TiO 2纳米粉末的方法和装置。 金属化合物蒸汽与电感RF频率等离子体中的氧化气体反应，从而形成金属氧化物蒸气。 使用快速停止颗粒生长过程的高度湍流气体骤冷区快速冷却金属氧化物蒸汽，与已知方法相比，形成金属氧化物颗粒的尺寸显着减小。 金属化合物蒸汽也可以与掺杂剂反应以产生掺杂的金属氧化物纳米粉末。 此外，公开了一种用于在线合成涂覆的金属氧化物的方法和装置，其中在高度湍流的气体骤冷区域中冷却之后，金属氧化物颗粒被表面剂涂覆。