公开(公告)号：US20160084901A1

公开(公告)日：2016-03-24

申请号：US14677173

申请日：2015-04-02

Applicant: Samsung Electronics Co., Ltd.

Inventor： Mi-Ra PARK ,  Dae-Jin SUNG ,  Yu-Sin YANG ,  Na-Kyoung LEE ,  Sang-Kil LEE ,  Chung-Sam JUN ,  Yong-Deok JEONG

IPC: G01R31/265

CPC classification number: G01R31/307 ,  G01R31/2831 ,  H01L22/12 ,  H01L22/14

Abstract: A method of inspecting a resistive defect of a semiconductor device is provided. The method includes loading a semiconductor wafer on a wafer stocker, transferring the semiconductor wafer into a laser anneal module, annealing a portion of the semiconductor wafer using a laser beam in an atmospheric pressure, transferring the annealed semiconductor wafer into an E-beam scanning module in a vacuum, scanning the annealed portions of the semiconductor wafer with an E-beam, and collecting secondary electrons emitted from the annealed portions of the semiconductor wafer.

Abstract translation: 提供了一种检查半导体器件的电阻缺陷的方法。 该方法包括将晶片储存器上的半导体晶片加载，将半导体晶片转移到激光退火模块中，使用大气压力的激光束退火半导体晶片的一部分，将退火的半导体晶片转移到电子束扫描模块 在真空中，用电子束扫描半导体晶片的退火部分，并收集从半导体晶片的退火部分发射的二次电子。

公开(公告)号：US20160299010A1

公开(公告)日：2016-10-13

申请号：US15079737

申请日：2016-03-24

Applicant: Samsung Electronics Co., Ltd.

Inventor： Mi-Ra PARK ,  Yong-Sang Yun ,  Myung-Hoon KWAK

IPC: G01K1/00 ,  G06F3/041 ,  H04L29/08 ,  G01D5/24

CPC classification number: G01K1/00 ,  G01D5/24 ,  G06F3/041 ,  G06F3/0418 ,  G06F3/044 ,  G06F2203/04106 ,  H03K2217/94026 ,  H04L67/10

Abstract: An electronic device and method are provided for sensing a touch or hovering event, where sensor variations due to environmental temperatures are minimized. The method includes operations for measuring a temperature of a portion of an electronic device, setting a sensing state reference level of a grip sensor according to the measured temperature, and determining a sensing state of an external object for the electronic device according to a result of a comparison between an output level from the grip sensor and the sensing state reference level of the grip sensor.

Abstract translation: 提供了一种用于感测触摸或悬停事件的电子设备和方法，其中由于环境温度导致的传感器变化被最小化。 该方法包括用于测量电子设备的一部分的温度的操作，根据测量的温度设置夹持传感器的感测状态参考水平，以及根据测量结果确定电子设备的外部对象的感测状态 来自握持传感器的输出水平与握持传感器的感测状态参考水平之间的比较。