公开(公告)号：US09285207B2

公开(公告)日：2016-03-15

申请号：US13952281

申请日：2013-07-26

Applicant: InvenSense, Inc.

Inventor： Baris Cagdaser ,  Du Chen ,  Hasan Akyol ,  Derek Shaeffer

IPC: G01B7/14 ,  G01D5/241 ,  G01D5/24

CPC classification number: G01B7/14 ,  G01D5/24 ,  G01D5/2412 ,  G01L1/144

Abstract: A method and system for measuring displacement of a structure is disclosed. The method and system comprise providing a first capacitance and providing a second capacitance. The first and second capacitances share a common terminal. The method and system further include determining a difference of the inverses of the value of the first and second capacitances when the structure is displaced. The first capacitance varies in inverse relation to the displacement of the structure.

Abstract translation: 公开了一种用于测量结构位移的方法和系统。 该方法和系统包括提供第一电容并提供第二电容。 第一和第二电容共享公共端子。 所述方法和系统还包括当所述结构被移位时确定所述第一和第二电容的值的反转的差异。 第一电容与结构的位移成反比关系。