公开(公告)号：US07819013B2

公开(公告)日：2010-10-26

申请号：US11481205

申请日：2006-07-05

申请人： Helen Lai Wa Chan ,  Tin Yan Lam ,  Chen Chao ,  Kin Wing Kwok

发明人： Helen Lai Wa Chan ,  Tin Yan Lam ,  Chen Chao ,  Kin Wing Kwok

IPC分类号： B23K1/06 ,  B23K20/10

CPC分类号： H01L24/78 ,  H01L2224/78301 ,  H01L2224/85205 ,  H01L2224/859 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/19107 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/48 ,  H01L2224/45099

摘要： An apparatus and method for detecting the oscillation amplitude of a bonding tool includes a sensing unit disposed adjacent to and at a distance from the bonding tool. The sensing unit includes a pair of electrodes, a piezoelectric sensing layer located between the pair of electrodes, and a membrane associated with the piezoelectric sensing layer. The piezoelectric sensing layer becomes sensitive to ultrasonic vibrations and generates electrical voltage signals after being activated by a poling process. An optional pre-amplifier is used to amplify the signals generated from the sensing unit, and an oscilloscope is used to further process the signals.

摘要翻译： 用于检测接合工具的振荡幅度的装置和方法包括邻近并距离接合工具一定距离的感测单元。 感测单元包括一对电极，位于一对电极之间的压电感测层和与压电感测层相关联的膜。 压电感测层对超声波振动敏感，并在通过极化过程激活后产生电压信号。 可选的前置放大器用于放大从感测单元产生的信号，示波器用于进一步处理信号。

公开(公告)号：US20080006674A1

公开(公告)日：2008-01-10

申请号：US11481205

申请日：2006-07-05

申请人： Helen Lai Wa Chan ,  Tin Yan Lam ,  Chen Chao ,  Kin Wing Kwok

发明人： Helen Lai Wa Chan ,  Tin Yan Lam ,  Chen Chao ,  Kin Wing Kwok

IPC分类号： B23K1/06 ,  B23K20/10

CPC分类号： H01L24/78 ,  H01L2224/78301 ,  H01L2224/85205 ,  H01L2224/859 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/19107 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/48 ,  H01L2224/45099

摘要： An apparatus and method for detecting the oscillation amplitude of a bonding tool includes a sensing unit disposed adjacent to and at a distance from the bonding tool. The sensing unit includes a pair of electrodes, a piezoelectric sensing layer located between the pair of electrodes, and a membrane associated with the piezoelectric sensing layer. The piezoelectric sensing layer becomes sensitive to ultrasonic vibrations and generates electrical voltage signals after being activated by a poling process. An optional pre-amplifier is used to amplify the signals generated from the sensing unit, and an oscilloscope is used to further process the signals.

摘要翻译： 用于检测接合工具的振荡幅度的装置和方法包括邻近并距离接合工具一定距离的感测单元。 感测单元包括一对电极，位于一对电极之间的压电感测层和与压电感测层相关联的膜。 压电感测层对超声波振动敏感，并在通过极化过程激活后产生电压信号。 可选的前置放大器用于放大从感测单元产生的信号，示波器用于进一步处理信号。

公开(公告)号：US08152136B2

公开(公告)日：2012-04-10

申请号：US11984915

申请日：2007-11-26

申请人： Ching-Hsiang Cheng ,  Chen Chao ,  Yin-Nee Cheung

发明人： Ching-Hsiang Cheng ,  Chen Chao ,  Yin-Nee Cheung

IPC分类号： F16K31/02

CPC分类号： F16K99/0001 ,  B01L3/502738 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0633 ,  F16K99/0009 ,  F16K99/0046 ,  F16K99/0048 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0088 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T29/49416

摘要： The present invention relates to a microvalve having a valve plug, connecting legs, anchors and actuators, allowing the valve plug to move vertically to open or close the valve. The valve plug can contain magnetic materials, and be operated by an actuator.

摘要翻译： 本发明涉及一种具有阀塞，连接腿，锚和致动器的微型阀，允许阀塞垂直移动以打开或关闭阀。 阀塞可以包含磁性材料，并由致动器操作。

公开(公告)号：US07543504B1

公开(公告)日：2009-06-09

申请号：US12007610

申请日：2008-01-14

申请人： Ching-Hsiang Cheng ,  Chen Chao ,  Yin-Nee Cheung

发明人： Ching-Hsiang Cheng ,  Chen Chao ,  Yin-Nee Cheung

IPC分类号： G01B7/16

CPC分类号： G01B7/18

摘要： The present invention relates to a strain gauge having a conductive fluid made of a glycerin/aqueous salt mixture, and methods of making the strain gauge. The strain gauge is capable of measuring large displacement of around 30% true strain.

摘要翻译： 本发明涉及一种具有由甘油/含水盐混合物制成的导电流体的应变计，以及制备应变计的方法。 应变计能够测量大约30％真应变的大位移。

公开(公告)号：US07854173B2

公开(公告)日：2010-12-21

申请号：US12325129

申请日：2008-11-28

申请人： Ching-Hsiang Cheng ,  Chen Chao ,  Yun Zhu

发明人： Ching-Hsiang Cheng ,  Chen Chao ,  Yun Zhu

IPC分类号： G01B7/16

CPC分类号： G01B7/18 ,  Y10T29/49103

摘要： A strain sensor (10) for measuring strain greater than 10%, the sensor (10) comprising: an upper polydimethylsiloxane (PDMS) substrate (20) having measurement electrodes (90) extending therethrough; a lower PDMS substrate (30) bonded to a lower surface of the upper PDMS substrate (20), and an upper surface of the lower PDMS substrate (30) having a patterned portion (50); and a conductive fluid (70) contained within the patterned portion (50) in contact with the measurement electrodes (90).

摘要翻译： 一种用于测量应变大于10％的应变传感器（10），所述传感器（10）包括：具有延伸穿过其中的测量电极（90）的上​​部聚二甲基硅氧烷（PDMS）衬底（20） 结合到上PDMS衬底（20）的下表面的下PDMS衬底（30）和具有图案部分（50）的下PDMS衬底（30）的上表面; 以及包含在与测量电极（90）接触的图案化部分（50）内的导电流体（70）。

公开(公告)号：US20090137874A1

公开(公告)日：2009-05-28

申请号：US11984915

申请日：2007-11-26

申请人： Ching-Hsiang Cheng ,  Chen Chao ,  Yin-Nee Cheung

发明人： Ching-Hsiang Cheng ,  Chen Chao ,  Yin-Nee Cheung

IPC分类号： A61M5/142 ,  F16K31/02 ,  B21K1/20

CPC分类号： F16K99/0001 ,  B01L3/502738 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0633 ,  F16K99/0009 ,  F16K99/0046 ,  F16K99/0048 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0088 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T29/49416

摘要： The present invention relates to a microvalve having a valve plug, connecting legs, anchors and actuators, allowing the valve plug to move vertically to open or close the valve. The valve plug can contain magnetic materials, and be operated by an actuator.

摘要翻译： 本发明涉及一种具有阀塞，连接腿，锚和致动器的微型阀，允许阀塞垂直移动以打开或关闭阀。 阀塞可以包含磁性材料，并由致动器操作。

公开(公告)号：US07500399B2

公开(公告)日：2009-03-10

申请号：US11822042

申请日：2007-07-02

申请人： Ching Hsiang Cheng ,  Chen Chao ,  Yin Nee Cheung

发明人： Ching Hsiang Cheng ,  Chen Chao ,  Yin Nee Cheung

IPC分类号： G01B7/16

CPC分类号： G01B7/18 ,  H01C10/106 ,  Y10T29/49103

摘要： The present invention relates to a strain gauge and methods of making such wherein the gauge contains a doped polymeric fluid suitable for measuring elongations of more than 10%.

摘要翻译： 本发明涉及一种应变计及其制造方法，其中该量规包含适于测量超过10％伸长率的掺杂聚合物流体。

公开(公告)号：US20090007685A1

公开(公告)日：2009-01-08

申请号：US11822042

申请日：2007-07-02

申请人： Ching Hsiang Cheng ,  Chen Chao ,  Yin Nee Cheung

发明人： Ching Hsiang Cheng ,  Chen Chao ,  Yin Nee Cheung

IPC分类号： G01B7/16 ,  H01C17/28

CPC分类号： G01B7/18 ,  H01C10/106 ,  Y10T29/49103

摘要： The present invention relates to a strain gauge and methods of making such wherein the gauge contains a doped polymeric fluid suitable for measuring elongations of more than 10%.

公开(公告)号：US20100132476A1

公开(公告)日：2010-06-03

申请号：US12325129

申请日：2008-11-28

申请人： Ching-Hsiang Cheng ,  Chen Chao ,  Yun Zhu

发明人： Ching-Hsiang Cheng ,  Chen Chao ,  Yun Zhu

IPC分类号： G01B7/16 ,  H01C17/28

CPC分类号： G01B7/18 ,  Y10T29/49103

摘要： A strain sensor (10) for measuring strain greater than 10%, the sensor (10) comprising: an upper polydimethylsiloxane (PDMS) substrate (20) having measurement electrodes (90) extending therethrough; a lower PDMS substrate (30) bonded to a lower surface of the upper PDMS substrate (20), and an upper surface of the lower PDMS substrate (30) having a patterned portion (50); and a conductive fluid (70) contained within the patterned portion (50) in contact with the measurement electrodes (90).

摘要翻译： 一种用于测量应变大于10％的应变传感器（10），所述传感器（10）包括：具有延伸穿过其中的测量电极（90）的上​​部聚二甲基硅氧烷（PDMS）衬底（20） 结合到上PDMS衬底（20）的下表面的下PDMS衬底（30）和具有图案部分（50）的下PDMS衬底（30）的上表面; 以及包含在与测量电极（90）接触的图案化部分（50）内的导电流体（70）。

公开(公告)号：US20090050987A1

公开(公告)日：2009-02-26

申请号：US11892313

申请日：2007-08-22

申请人： Jue Peng ,  Chen Chao ,  Ji Yan Dai ,  Helen L.W. Chan

发明人： Jue Peng ,  Chen Chao ,  Ji Yan Dai ,  Helen L.W. Chan

IPC分类号： H01L29/84 ,  H01L21/00

CPC分类号： H01L41/1875 ,  H01L41/29 ,  H01L41/312 ,  H01L41/332 ,  H01L41/337

摘要： The present invention relates a method of fabricating a piezoelectric device through micromachining piezoelectric-on-silicon wafer. The wafers are constructed so that piezoelectric layer is a single wafer having a thin layer from 5 to 50 μm.

摘要翻译： 本发明涉及通过微加工硅基压电晶片制造压电器件的方法。 晶片被构造成使得压电层是具有5-50μm薄层的单个晶片。