公开(公告)号：US20130243372A1

公开(公告)日：2013-09-19

申请号：US13603025

申请日：2012-09-04

申请人： Qinghua Chen ,  Haixia Zhang ,  Wengang Wu ,  Jun Zhao ,  Yunsheng Wen

发明人： Qinghua Chen ,  Haixia Zhang ,  Wengang Wu ,  Jun Zhao ,  Yunsheng Wen

IPC分类号： G02B6/35

CPC分类号： G02B6/3584 ,  C22F1/006 ,  G02B6/358 ,  G02B7/1827 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/0866

摘要： An optical switch includes: a semiconductor substrate, including a first rotation part and a first torsion beam disposed at two ends of the first rotation part, where the first torsion beam is configured to drive the first rotation part to rotate; a microreflector, disposed on a surface of the first rotation part of the semiconductor substrate; a first latching structure, disposed on a surface of the first torsion beam, the first latching structure including a form self remolding (FSR) material layer and a thermal field source, where the thermal field source is configured to provide a thermal field for the FSR material layer and the FSR material layer is configured to undergo form remolding under the thermal field, so as to latch the first rotation part and the microreflector in a position after rotation.

摘要翻译： 一种光开关包括：半导体衬底，包括设置在第一旋转部分的两端的第一旋转部分和第一扭转梁，第一扭转梁构造成驱动第一旋转部分旋转; 微反射器，设置在半导体衬底的第一旋转部分的表面上; 第一闭锁结构，设置在所述第一扭转梁的表面上，所述第一闭锁结构包括形状自重塑（FSR）材料层和热场源，其中所述热场源被配置为为所述FSR提供热场 材料层和FSR材料层被配置为在热场下经历形式重塑，从而将第一旋转部分和微反射器锁定在旋转后的位置。

公开(公告)号：US09042689B2

公开(公告)日：2015-05-26

申请号：US13603025

申请日：2012-09-04

申请人： Qinghua Chen ,  Haixia Zhang ,  Wengang Wu ,  Jun Zhao ,  Yunsheng Wen

发明人： Qinghua Chen ,  Haixia Zhang ,  Wengang Wu ,  Jun Zhao ,  Yunsheng Wen

IPC分类号： G02B6/26 ,  G02B6/35 ,  G02B7/182 ,  C22F1/00 ,  G02B26/08

CPC分类号： G02B6/3584 ,  C22F1/006 ,  G02B6/358 ,  G02B7/1827 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/0866

摘要： An optical switch includes: a semiconductor substrate, including a first rotation part and a first torsion beam disposed at two ends of the first rotation part, where the first torsion beam is configured to drive the first rotation part to rotate; a microreflector, disposed on a surface of the first rotation part of the semiconductor substrate; a first latching structure, disposed on a surface of the first torsion beam, the first latching structure including a form self remolding (FSR) material layer and a thermal field source, where the thermal field source is configured to provide a thermal field for the FSR material layer and the FSR material layer is configured to undergo form remolding under the thermal field, so as to latch the first rotation part and the microreflector in a position after rotation.

摘要翻译： 一种光开关包括：半导体衬底，包括设置在第一旋转部分的两端的第一旋转部分和第一扭转梁，第一扭转梁构造成驱动第一旋转部分旋转; 微反射器，设置在半导体衬底的第一旋转部分的表面上; 第一闭锁结构，设置在所述第一扭转梁的表面上，所述第一闭锁结构包括形状自重塑（FSR）材料层和热场源，其中所述热场源被配置为为所述FSR提供热场 材料层和FSR材料层被配置为在热场下经历形式重塑，从而将第一旋转部分和微反射器锁定在旋转后的位置。