公开(公告)号：US08739390B2

公开(公告)日：2014-06-03

申请号：US12636757

申请日：2009-12-13

申请人： Vladimir Bulovic ,  Corinne Evelyn Packard ,  Jennifer Jong-Hua Yu ,  Apoorva Murarka ,  LeeAnn Kim

发明人： Vladimir Bulovic ,  Corinne Evelyn Packard ,  Jennifer Jong-Hua Yu ,  Apoorva Murarka ,  LeeAnn Kim

IPC分类号： H01H11/00

CPC分类号： B81C1/0046 ,  B81B2201/042 ,  B81C2201/0185 ,  Y10T29/43 ,  Y10T29/435 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/4902 ,  Y10T29/49105 ,  Y10T156/1168

摘要： The embodiments disclosed herein are directed to fabrication methods useful for creating MEMS via microcontact printing by using small organic molecule release layers. The disclose method enables transfer of a continuous metal film onto a discontinuous platform to form a variable capacitor array. The variable capacitor array can produce mechanical motion under the application of a voltage. The methods disclosed herein eliminate masking and other traditional MEMS fabrication methodology. The methods disclosed herein can be used to form a substantially transparent MEMS having a PDMS layer interposed between an electrode and a graphene diaphragm.

摘要翻译： 本文公开的实施例涉及通过使用小的有机分子释放层通过微接触印刷创建MEMS的制造方法。 公开的方法能够将连续金属膜转移到不连续平台上以形成可变电容器阵列。 可变电容器阵列可以在施加电压的情况下产生机械运动。 本文公开的方法消除掩蔽和其它传统的MEMS制造方法。 本文公开的方法可以用于形成基本上透明的MEMS，其具有介于电极和石墨烯隔膜之间的PDMS层。

公开(公告)号：US08601658B2

公开(公告)日：2013-12-10

申请号：US13248901

申请日：2011-09-29

申请人： Vladimir Bulovic ,  Corinne Evelyn Packard ,  Jennifer Jong-Hua Yu ,  Apoorva Murarka ,  LeeAnn Kim

发明人： Vladimir Bulovic ,  Corinne Evelyn Packard ,  Jennifer Jong-Hua Yu ,  Apoorva Murarka ,  LeeAnn Kim

IPC分类号： H01G7/00

CPC分类号： B81C1/0046 ,  B81B2201/042 ,  B81C2201/0185 ,  Y10T29/43 ,  Y10T29/435 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/4902 ,  Y10T29/49105 ,  Y10T156/1168

摘要： The embodiments disclosed herein are directed to fabrication methods useful for creating MEMS via microcontact printing by using small organic molecule release layers. The disclose method enables transfer of a continuous metal film onto a discontinuous platform to form a variable capacitor array. The variable capacitor array can produce mechanical motion under the application of a voltage. The methods disclosed herein eliminate masking and other traditional MEMS fabrication methodology. The methods disclosed herein can be used to form a substantially transparent MEMS having a PDMS layer interposed between an electrode and a graphene diaphragm.

摘要翻译： 本文公开的实施例涉及通过使用小的有机分子释放层通过微接触印刷创建MEMS的制造方法。 公开的方法能够将连续金属膜转移到不连续平台上以形成可变电容器阵列。 可变电容器阵列可以在施加电压的情况下产生机械运动。 本文公开的方法消除掩蔽和其它传统的MEMS制造方法。 本文公开的方法可以用于形成基本上透明的MEMS，其具有介于电极和石墨烯隔膜之间的PDMS层。

公开(公告)号：US20120069488A1

公开(公告)日：2012-03-22

申请号：US13248901

申请日：2011-09-29

申请人： Vladimir Bulovic ,  Corinne Evelyn Packard ,  Jennifer Jong-Hua Yu ,  Apoorva Murarka ,  LeeAnn Kim

发明人： Vladimir Bulovic ,  Corinne Evelyn Packard ,  Jennifer Jong-Hua Yu ,  Apoorva Murarka ,  LeeAnn Kim

IPC分类号： H01G4/06

CPC分类号： B81C1/0046 ,  B81B2201/042 ,  B81C2201/0185 ,  Y10T29/43 ,  Y10T29/435 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/4902 ,  Y10T29/49105 ,  Y10T156/1168

摘要： The embodiments disclosed herein are directed to fabrication methods useful for creating MEMS via microcontact printing by using small organic molecule release layers. The disclose method enables transfer of a continuous metal film onto a discontinuous platform to form a variable capacitor array. The variable capacitor array can produce mechanical motion under the application of a voltage. The methods disclosed herein eliminate masking and other traditional MEMS fabrication methodology. The methods disclosed herein can be used to form a substantially transparent MEMS having a PDMS layer interposed between an electrode and a graphene diaphragm.

摘要翻译： 本文公开的实施例涉及通过使用小的有机分子释放层通过微接触印刷创建MEMS的制造方法。 公开的方法能够将连续金属膜转移到不连续平台上以形成可变电容器阵列。 可变电容器阵列可以在施加电压的情况下产生机械运动。 本文公开的方法消除掩蔽和其它传统的MEMS制造方法。 本文公开的方法可以用于形成基本上透明的MEMS，其具有介于电极和石墨烯隔膜之间的PDMS层。

公开(公告)号：US20100188796A1

公开(公告)日：2010-07-29

申请号：US12636757

申请日：2009-12-13

申请人： Vladimir Bulovic ,  Corinne Evelyn Packard ,  Jennifer Jong-Hua Yu ,  Apoorva Murarka ,  LeeAnn Kim

发明人： Vladimir Bulovic ,  Corinne Evelyn Packard ,  Jennifer Jong-Hua Yu ,  Apoorva Murarka ,  LeeAnn Kim

IPC分类号： H01G7/00 ,  B29C63/00

CPC分类号： B81C1/0046 ,  B81B2201/042 ,  B81C2201/0185 ,  Y10T29/43 ,  Y10T29/435 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/4902 ,  Y10T29/49105 ,  Y10T156/1168

摘要： The embodiments disclosed herein are directed to fabrication methods useful for creating MEMS via microcontact printing by using small organic molecule release layers. The disclose method enables transfer of a continuous metal film onto a discontinuous platform to form a variable capacitor array. The variable capacitor array can produce mechanical motion under the application of a voltage. The methods disclosed herein eliminate masking and other traditional MEMS fabrication methodology. The methods disclosed herein can be used to form a substantially transparent MEMS having a PDMS layer interposed between an electrode and a graphene diaphragm.

摘要翻译： 本文公开的实施例涉及通过使用小的有机分子释放层通过微接触印刷创建MEMS的制造方法。 公开的方法能够将连续金属膜转移到不连续平台上以形成可变电容器阵列。 可变电容器阵列可以在施加电压的情况下产生机械运动。 本文公开的方法消除掩蔽和其它传统的MEMS制造方法。 本文公开的方法可以用于形成基本上透明的MEMS，其具有介于电极和石墨烯隔膜之间的PDMS层。