公开(公告)号：US09134211B2

公开(公告)日：2015-09-15

申请号：US13852806

申请日：2013-03-28

Applicant: Korea Advanced Institute of Science and Technology

Inventor： Young-Ho Cho ,  Jae-Min Kim ,  Dae-Geon Seo

IPC: G01B7/24 ,  G01N3/08 ,  G01B7/16 ,  G01L1/00 ,  A61B5/053

CPC classification number: G01N3/08 ,  A61B5/053 ,  A61B5/0531 ,  G01B7/18 ,  G01B7/22 ,  G01L1/00 ,  G01L1/142 ,  G01L1/2287

Abstract: A surface shape measuring device includes a substrate, an electrode portion including at least one electrode pattern, the electrode pattern extending on the substrate, a coating layer on the substrate to cover the electrode pattern, and a detector electrically connected to the electrode pattern and detecting a change in a physical quantity of the electrode pattern generated by the deformation of the substrate or the coating layer by an external load applied thereto.

Abstract translation: 表面形状测量装置包括基板，包括至少一个电极图案的电极部分，在基板上延伸的电极图案，基板上的覆盖电极图案的涂层，以及电连接到电极图案的检测器， 由施加到其上的外部负载由基板或涂层的变形产生的电极图案的物理量的变化。