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公开(公告)号：CN114783850A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202210422196.8
申请日：2022-04-21
Applicant: 中国人民解放军国防科技大学
Abstract: 本发明属于高功率微波技术领域。本发明提供了一种C波段全腔提取相对论磁控管，包括输入内导体(1)、输入外导体(2)、阴极(3)、阳极(4)、输出外导体(5)、第一输出内导体(6)和第二输出内导体(7)。本发明提供的C波段全腔提取相对论磁控管，具有结构紧凑、适合永磁包装以及易于模式转换等优点，同时可以实现C波段微波高功率以及高效率的输出。
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公开(公告)号：CN109841468B
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201711215656.5
申请日：2017-11-28
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提供了一种磁控管组件，包括：旋转机构，用于在驱动机构的驱动下沿其中心轴旋转；第一磁控管，通过第一旋转臂与所述旋转机构固定连接，用以在所述旋转机构旋转时带动所述第一磁控管绕所述中心轴旋转；第二磁控管，与第二旋转臂固定连接，所述第二旋转臂通过旋转轴与所述旋转机构相连，用以在所述旋转机构旋转时带动所述第二磁控管绕所述中心轴旋转；所述旋转轴能够自转，用以带动所述第二磁控管绕所述旋转轴的轴线旋转。本发明还提供一种磁控溅射腔室及半导体加工设备。本发明可以提高靶材的溅射均匀性。
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公开(公告)号：CN102598190B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201080051321.4
申请日：2010-11-11
Applicant: E2V技术(英国)有限公司
IPC: H01J1/13 , H01J23/05 , H01J25/52 , H01J25/587
CPC classification number: H01J1/135 , H01J23/05 , H01J25/52 , H01J25/587
Abstract: 一种用于微波源的高频阴极加热器电源，包括：SMPS逆变器(13)和隔离变压器(12)，该隔离变压器具有：被配置为由所述SMPS逆变器供电的初级绕组(122)，穿过所述初级绕组的初级组芯的监测绕组(123)，以及被配置为用于连接阴极加热器(11)的次级绕组(121)。电流监测器(141)被配置为监测所述初级绕组中的电流。信号处理模块(14，131，132)被配置为接收来自监测绕组(123)的第一输入信号和来自电流监测器(141)的第二输入信号，所述第一输入信号指示了所述阴极加热器(11)上的电压Vh，所述第二输入信号指示了阴极加热器上的电流。信号处理模块被配置为向SMPS逆变器输出控制信号，以根据从第一输入信号和第二输入信号确定的阴极加热器的监测电阻或供应至阴极加热器的监测功率，来对供应至所述阴极加热器的功率进行控制。
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公开(公告)号：CN114783850B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202210422196.8
申请日：2022-04-21
Applicant: 中国人民解放军国防科技大学
Abstract: 本发明属于高功率微波技术领域。本发明提供了一种C波段全腔提取相对论磁控管，包括输入内导体(1)、输入外导体(2)、阴极(3)、阳极(4)、输出外导体(5)、第一输出内导体(6)和第二输出内导体(7)。本发明提供的C波段全腔提取相对论磁控管，具有结构紧凑、适合永磁包装以及易于模式转换等优点，同时可以实现C波段微波高功率以及高效率的输出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109830418B
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN201711181073.5
申请日：2017-11-23
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于驱动磁控管的扫描机构、磁控源和磁控溅射设备。该扫描机构包括：导轨，导轨上设置有限位件；移动结构，设置在导轨上且能沿导轨往复移动；驱动组件，可转动地设置在导轨上，用于驱动移动结构在导轨上移动至第一预设位置或第二预设位置后再沿靶材中心轴转动，以使磁控管对应于靶材的边缘区域或中央区域后再沿靶材中心轴转动。因此，本发明的扫描机构，在实现磁控管不同位置的切换时，运动轨迹简单，易于控制，且可靠性较高，同时，还可以适用于多种类型的磁控管来进行工艺。
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公开(公告)号：CN109841468A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201711215656.5
申请日：2017-11-28
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提供了一种磁控管组件，包括：旋转机构，用于在驱动机构的驱动下沿其中心轴旋转；第一磁控管，通过第一旋转臂与所述旋转机构固定连接，用以在所述旋转机构旋转时带动所述第一磁控管绕所述中心轴旋转；第二磁控管，与第二旋转臂固定连接，所述第二旋转臂通过旋转轴与所述旋转机构相连，用以在所述旋转机构旋转时带动所述第二磁控管绕所述中心轴旋转；所述旋转轴能够自转，用以带动所述第二磁控管绕所述旋转轴的轴线旋转。本发明还提供一种磁控溅射腔室及半导体加工设备。本发明可以提高靶材的溅射均匀性。
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公开(公告)号：CN109830418A
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201711181073.5
申请日：2017-11-23
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于驱动磁控管的扫描机构、磁控源和磁控溅射设备。该扫描机构包括：导轨，导轨上设置有限位件；移动结构，设置在导轨上且能沿导轨往复移动；驱动组件，可转动地设置在导轨上，用于驱动移动结构在导轨上移动至第一预设位置或第二预设位置后再沿靶材中心轴转动，以使磁控管对应于靶材的边缘区域或中央区域后再沿靶材中心轴转动。因此，本发明的扫描机构，在实现磁控管不同位置的切换时，运动轨迹简单，易于控制，且可靠性较高，同时，还可以适用于多种类型的磁控管来进行工艺。
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公开(公告)号：CN116825591A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310591869.7
申请日：2023-07-20
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01J25/52 , H01J23/05 , H01J23/027
Abstract: 本发明公开了一种紧凑型轴向输出TE11模式的旭日型磁控管，属于微波源技术中的真空电子器件领域。包括轴向依次连接的旭日型磁控管结构、模式变换结构、输出结构；其中模式变换结构包括轴向模式变换外壳、圆台形腔体、N‑2个延伸腔、一个大渐变延伸腔、一个小渐变延伸腔；圆台形腔体和延伸腔为磁控管腔体的轴向延伸，大渐变延伸腔和小渐变延伸腔设置于轴向模式变换外壳内对称的两侧。本发明为轴向输出磁控管，可构建大型相干阵列，实现功率合成；采用旭日型磁控管中大小腔的不对称结构输出对称的TE11模式，可直接用于辐射，省去了复杂又长的模式转换器；同时，通过结合旭日结构和衍射结构，大大缩减了轴向尺寸，减小了阵列的体积与重量。
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公开(公告)号：CN102598190A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201080051321.4
申请日：2010-11-11
Applicant: E2V技术(英国)有限公司
IPC: H01J1/13 , H01J23/05 , H01J25/52 , H01J25/587
CPC classification number: H01J1/135 , H01J23/05 , H01J25/52 , H01J25/587
Abstract: 一种用于微波源的高频阴极加热器电源，包括：SMPS逆变器(13)和隔离变压器(12)，该隔离变压器具有：被配置为由所述SMPS逆变器供电的初级绕组(122)，穿过所述初级绕组的初级组芯的监测绕组(123)，以及被配置为用于连接阴极加热器(11)的次级绕组(121)。电流监测器(141)被配置为监测所述初级绕组中的电流。信号处理模块(14，131，132)被配置为接收来自监测绕组(123)的第一输入信号和来自电流监测器(141)的第二输入信号，所述第一输入信号指示了所述阴极加热器(11)上的电压Vh，所述第二输入信号指示了阴极加热器上的电流。信号处理模块被配置为向SMPS逆变器输出控制信号，以根据从第一输入信号和第二输入信号确定的阴极加热器的监测电阻或供应至阴极加热器的监测功率，来对供应至所述阴极加热器的功率进行控制。
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