表面声波器件及其制造方法、温度检测设备

    公开(公告)号:CN107302348A

    公开(公告)日:2017-10-27

    申请号:CN201610236703.3

    申请日:2016-04-15

    IPC分类号: H03H3/02 G01K11/22

    摘要: 本发明揭示了一种表面声波器件的制造方法、温度检测设备。所述表面声波器件的制造方法包括:提供一牺牲层;在所述牺牲层上依次形成耐高温压电材料层和耐高温金属层;光刻刻蚀所述耐高温金属层形成反射器和叉指电极;在所述耐高温压电材料层上紧靠所述叉指电极两侧形成天线;提供一衬底,并在所述衬底中形成一凹陷;将所述衬底自凹陷周围与所述耐高温压电材料层键合,所述反射器、叉指电极及天线被密封在所述凹陷中;去除所述牺牲层。由此,实现了表面声波器件的密封式结构,避免了反应腔内的产物对表面声波器件的干扰;还将表面声波器件与晶圆隔离,避免了晶圆在加工过程中受到表面声波器件所具有的金属的影响。

    一种声表面波温度传感器

    公开(公告)号:CN107192472A

    公开(公告)日:2017-09-22

    申请号:CN201710651389.X

    申请日:2017-08-02

    发明人: 胡品健

    IPC分类号: G01K11/22

    CPC分类号: G01K11/22

    摘要: 本发明提供了一种声表面波温度传感器,包括SAW温度感应部分和SAW地址编码部分,SAW温度感应部分包括设置在基座上的两个以上SAW温度感应器件,SAW温度感应器件分别包括压电基片和设置在压电基片上的叉指换能器和反射栅条,SAW地址编码部分包括设置于基座上的两个以上的SAW地址标签,SAW地址标签采用叉指换能器和地址标签反射栅条分离设置的SAW延迟线结构,地址标签反射栅条为带有编码的反射栅条。本发明采用地址编码技术,增加单个声表面波温度传感器占用的频率带宽,提高了频谱资源利用率,相应增加了传感器的抗干扰能力,进而成倍提高了声表面波温度传感器的测温精度。

    高压避雷器的温度测量方法

    公开(公告)号:CN107044889A

    公开(公告)日:2017-08-15

    申请号:CN201710352792.2

    申请日:2017-05-18

    IPC分类号: G01K11/22 G01K1/02

    CPC分类号: G01K11/22 G01K1/024

    摘要: 本发明公开了一种高压避雷器的温度测量方法,包括下列步骤:(1)制作测温组件、(2)安装测温组件、(3)设置外部控制组件、(4)信号处理和传输。其中该测温组件包括声表面波温度传感器和用于安装声表面波温度传感器的导电导热封装件;导电导热封装件上设有插槽,声表面波温度传感器包括感应底座和设置在感应底座上的信号传输天线,感应底座插装在插槽内。本发明通过在避雷器内安装无源无线的声表面波温度传感器,保证了避雷器的完整性,避免了对避雷器改造等带来的避雷器本身性能的下降。通过合理的安装结构,既保证了避雷器本省的通流能力,保证了传感器的无线通信效果,又保证了温度检测的可靠性。

    一种温度场重建技术
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106197735A

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201610487790.X

    申请日:2016-06-28

    IPC分类号: G01K11/22

    CPC分类号: G01K11/22 G01K2213/00

    摘要: 本发明公开了一种温度场重建技术,包括声波传感器、前置放大器、信号处理器、RS485总线、中央控制单元DSP和上位机,所述声波传感器与前置放大器连接,且前置放大器与信号处理器连接,所述信号处理器通过RS485总线与中央控制单元DSP连接,且中央控制单元DSP与上位机连接,所述声波传感器、前置放大器和信号处理器均为十个;将十个声波传感器布置在半径为1-1.5m的被测圆形区域周围,然后在被测圆形区域内放置热源,接着用上位机向中央控制单元DSP发送检测命令,中央控制单元DSP接收到上位机的握手信号后,控制十个声波传感器进行声波发射。本发明具有温度测量范围广、测量精度高、非接触、实时测量和维护方便的优点。

    环网柜测温系统的阅读器系统
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109141679A

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201811287430.0

    申请日:2018-10-31

    摘要: 本发明提供了一种环网柜测温系统的阅读器系统,包括无线采集器(1)、环网柜温度无线传感器(2);所述无线采集器(1)通过无线或有线方式与环网柜温度无线传感器(2)进行通信;所述环网柜温度无线传感器(2)包括传感器天线(21)、声表面波器件(22);所述传感器天线(21)与声表面波器件(22)电连接;所述环网柜测温系统的阅读器系统,还包括阅读器天线(6)。本发明提供的环网柜温度监测系统的阅读器天线实现了温度在线传感监测功能,将人工温度测量变为自动在线监测,提高了环网柜的使用安全性。阅读器天线依靠磁力吸附在环网柜内部,不需要打孔破坏环网柜,可以非常方便取出,并安装在环网柜任意位置。

    一种测量三维风速和超声温度仪器的温度数据修正方法

    公开(公告)号:CN108693377A

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201810411521.4

    申请日:2018-05-02

    申请人: 中山大学

    发明人: 杨清华

    摘要: 本发明提供一种测量三维风速和超声温度仪器的温度数据修正方法,所述方法包括:S1、获取观测系统中测量三维风速和超声温度的仪器测量的第一风速数据和第一温度数据,以及获取观测系统中另一温度传感器测量的第二温度数据;S2、将第一温度数据和第二温度数据进行比较,判断所述仪器是否处于数据异常状态;S3、根据所述第一温度数据、所述第一风速数据、和数据异常状态下所述仪器的性能参数,获取真实超声温度数据。使用本发明的方法恢复得到真实的温度数据,经济、高效、快速、精度高。

    基于声学技术的粮仓储物温度场测量装置及其方法

    公开(公告)号:CN108414111A

    公开(公告)日:2018-08-17

    申请号:CN201810373148.8

    申请日:2018-04-24

    IPC分类号: G01K11/22 G01K13/10

    CPC分类号: G01K11/22 G01K13/10

    摘要: 一种基于声学技术的粮仓储物温度测量装置及其方法,包括空心管道、声波导管、声波发生器、声波传感器、信号调理器、功率放大器、接线盒、输入/输出设备、工控机;其中空心管道表面开有小孔,空心管道内介质温度通过经过小孔的空气流动与粮食储物温度相平衡;声波发生器通过声波导管安装在空心管道,声波传感器沿空心管道根据精度要求间隔一定距离依次布置,从而形成多段声波测量路径;声波发生器先后发出固定频率的声波,声波信号经过传感器、信号调理器、接线盒、输入/输出设备传递给工控机;工控机将接收到的信号进行计算和分析,得出测量结果。该技术采用非接触式测量方式,可应用于高低温环境,且装置安装维护方便,线路简单,测量精度高。

    无线温度传感器
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106104236A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201580012360.6

    申请日:2015-03-04

    IPC分类号: G01K7/32 G01K1/02

    摘要: 本发明提供一种容易制造且可靠性有了提高的无线温度传感器。本发明的无线温度传感器包括:第一结构体,其具有在绝缘基板上配置天线电极及GND电极而成的天线;温度检测元件,其固定在第一结构体的配置有天线电极那一面的背面侧;以及第二结构体,其配置在温度检测元件的侧壁侧,与第一结构体接合;并且,温度检测元件是以与天线电极及GND电极电连接的方式固定在第一结构体上。

    温度计以及流体测量装置

    公开(公告)号:CN105890789A

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201610254755.3

    申请日:2016-02-04

    IPC分类号: G01K7/00 G01K7/02

    摘要: 在本发明涉及一种温度计。该温度计包括至少一个具有根据要测量的温度以特有的方式改变的物理特征参数的温度传感器.温度计还包括至少一个输出信号的电输出端,该信号是特征参数的值的指标.根据本发明,温度计包括声波或电磁波的发送器和/或接收器.发送器能与温度传感器连接并由其根据特征参数的值操控.备选地,发送器至少有时能向温度传感器发出波,波与温度传感器之间的相互作用与特征参数的值相关.为了获得电信号,将波转换成电信号的接收器或用于将波与温度传感器的相互作用转换成电信号的其他器件电输出端连接。已表明,通过波传输信号使温度传感器与周围环境电脱耦,因此温度传感器能明显更好地与要测量温度的位置或介质热耦合。