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发明公开
由冶金硅制备三氯硅烷的闭环方法无效

公开(公告)号：CN102753477A

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201080061836.2

申请日：2010-12-16

申请人： 赢创德固赛有限公司

发明人： Y·厄纳尔 , R·马尔茨科恩 , I·保利 , I·伦特-里格 , G·施托赫尼奥尔

IPC分类号： C01B33/107

CPC分类号： C01B33/10763 , C01B33/10742 , C01B33/10752 , C01B33/10757 , C01B33/10773 , Y02P20/129

摘要： 本发明涉及一种由冶金硅制备三氯硅烷和四氯化硅的多级方法，其中，在第一步中，由冶金硅制备三氯硅烷和四氯化硅，在第二步中，进一步处理四氯化硅以形成最终产物三氯硅烷。本发明还涉及一种可在其中整体实施该方法的装置。