锗烷纯化
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102282107B

    公开(公告)日:2014-07-23

    申请号:CN200980154667.4

    申请日:2009-11-16

    发明人: 加里·D·米勒

    IPC分类号: B01D53/02

    摘要: 一种用于纯化含有磷化氢的锗烷,以提供纯化的锗烷产品的方法和系统。本发明的一方面是制备含有低于50ppb磷化氢的纯化的锗烷产品的方法,其包括提供磷化氢污染的锗烷气体和氢气的混合物;使锗烷气体氢气混合物通过选择性吸附磷化氢的吸附剂,以及产生纯化的锗烷气体和氢气的混合物;以及从氢气锗烷气体混合物中分离纯化的锗烷气体。