制造光学元件
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115867868A

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202180050481.5

    申请日:2021-08-25

    Abstract: 一种制造光学元件的方法,该方法包括:提供基板;提供工具,该工具在第一侧上包括限定该光学元件的表面结构的区段;将该工具和该基板相对于彼此对准,并将该工具和该基板的第一侧放在一起,材料在该工具和该基板之间;将透明掩模结构定位成与该材料已经粘附到其上的该基板相邻,该掩模结构包括掩模层;发射光穿过该掩模结构来入射到该材料的部分上,以固化该材料的所述部分,其中该掩模层防止光入射到该材料的剩余部分上,使得该材料的该剩余部分未固化;以及移除该材料的未固化剩余部分。

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