载置台、表面特性测定机及表面特性测定方法

    公开(公告)号:CN1680770A

    公开(公告)日:2005-10-12

    申请号:CN200510063828.2

    申请日:2005-04-08

    Inventor: 大坪圣一

    CPC classification number: G01B21/047

    Abstract: 一种载置台、表面特性测定机及表面特性测定方法,具有载置作为测定或加工的对象的工件的载置面的载置台包括:支承机构,其支承载置台,为使载置台在加工成平面的平台上移动或旋转自如,可将载置台从该平台浮起,或将载置台固定支承在所述平台上;多个基准,其用于测定载置台的多种姿势,检测各姿势下载置台的位置和旋转。

    载置台、表面特性测定机及表面特性测定方法

    公开(公告)号:CN1317541C

    公开(公告)日:2007-05-23

    申请号:CN200510063828.2

    申请日:2005-04-08

    Inventor: 大坪圣一

    CPC classification number: G01B21/047

    Abstract: 一种载置台、表面特性测定机及表面特性测定方法,具有载置作为测定或加工的对象的工件的载置面的载置台包括:支承机构,其支承载置台,为使载置台在加工成平面的平台上移动或旋转自如,可将载置台从该平台浮起,或将载置台固定支承在所述平台上;多个基准,其用于测定载置台的多种姿势,检测各姿势下载置台的位置和旋转。

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