紧凑的三波横切型消色差光学干涉仪

    公开(公告)号:CN101389938A

    公开(公告)日:2009-03-18

    申请号:CN200780006664.7

    申请日:2007-01-16

    CPC classification number: G01J9/02

    Abstract: 一种分析光束波阵面的方法与系统,其中衍射光栅(GR)安置在垂直于待分析光束且光学共轭于分析平面的平面内。光栅不同的呈现光束相干涉而生成图像,该图像具有与等待分析波阵面的梯度相关的变形。本方法的特征在于,光栅(GR)执行强度函数与相位函数的相乘;强度函数由带六边形表面S网格的二维光栅(GI)实现,六边形表面S网格将待分析束的光透射成多条排列在六边形网格中的呈现光束;相位函数由带六边形表面3S网格的二维实现,六边形表面3S网格在两条相邻次级光束之间引起接近2π/3(模2π)的相移。

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