公开(公告)号：CN111052267A

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201880053462.6

申请日：2018-07-31

申请人： NISSHA株式会社

发明人： 面了明 ,  西川和宏 ,  寺谷和臣 ,  坂田喜博 ,  西村刚 ,  砂走孝邦

IPC分类号： H01B5/14 ,  B32B3/30 ,  B32B15/02 ,  B32B15/08 ,  B32B17/06 ,  B32B17/12 ,  B32B23/04 ,  B32B23/10 ,  B32B27/06 ,  B32B27/12 ,  B32B27/28 ,  B32B27/30 ,  B32B27/32 ,  B32B27/36 ,  B32B33/00 ,  G06F3/041

摘要： 提供网格图案的不可视性以及图像的可视性优异的电极膜及其制造方法。电极膜的制造方法具备下面的工序：在透明基材的第一主面上依次层叠金属层、黑色光致抗蚀剂层的工序；对上述黑色光致抗蚀剂层局部曝光、显影从而图案化为网格形状的工序；以图案化的上述黑色光致抗蚀剂层作为蚀刻掩模蚀刻上述金属层直至上述金属层变为相比于构成上述黑色光致抗蚀剂层的网格的细线的宽度小的宽度为止，从而将上述金属层加工为金属网格电极的工序；以及对上述黑色光致抗蚀剂层进行加热并使其软化，通过软化的上述黑色光致抗蚀剂层的垂下，不仅被覆构成上述金属网格电极的网格的细线的上表面，还被覆至构成上述金属网格电极的网格的细线的两侧面的工序。

公开(公告)号：CN111052267B

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN201880053462.6

申请日：2018-07-31

申请人： NISSHA株式会社

发明人： 面了明 ,  西川和宏 ,  寺谷和臣 ,  坂田喜博 ,  西村刚 ,  砂走孝邦

IPC分类号： H01B5/14 ,  B32B3/30 ,  B32B15/02 ,  B32B15/08 ,  B32B17/06 ,  B32B17/12 ,  B32B23/04 ,  B32B23/10 ,  B32B27/06 ,  B32B27/12 ,  B32B27/28 ,  B32B27/30 ,  B32B27/32 ,  B32B27/36 ,  B32B33/00 ,  G06F3/041

摘要： 提供网格图案的不可视性以及图像的可视性优异的电极膜及其制造方法。电极膜的制造方法具备下面的工序：在透明基材的第一主面上依次层叠金属层、黑色光致抗蚀剂层的工序；对上述黑色光致抗蚀剂层局部曝光、显影从而图案化为网格形状的工序；以图案化的上述黑色光致抗蚀剂层作为蚀刻掩模蚀刻上述金属层直至上述金属层变为相比于构成上述黑色光致抗蚀剂层的网格的细线的宽度小的宽度为止，从而将上述金属层加工为金属网格电极的工序；以及对上述黑色光致抗蚀剂层进行加热并使其软化，通过软化的上述黑色光致抗蚀剂层的垂下，不仅被覆构成上述金属网格电极的网格的细线的上表面，还被覆至构成上述金属网格电极的网格的细线的两侧面的工序。