公开(公告)号：CN101454872A

公开(公告)日：2009-06-10

申请号：CN200780019163.2

申请日：2007-05-25

Applicant: LG化学株式会社

Inventor： 韩熙 ,  朴珉春 ,  金璟晙 ,  徐圣佑 ,  权赫俊 ,  安庆昊 ,  崔棅圭 ,  闵盛晙 ,  黄智泳

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/425

Abstract: 本发明涉及一种光刻胶剥离剂组合物。在剥离工艺和剥离光刻剂的已知步骤中，该光刻胶剥离剂组合物能够在短时间内在低温下彻底剥离由于过度的光刻工艺造成的变性的光刻胶膜，即使仅通过水而非异丙醇作为中间冲洗溶液进行冲洗也不破坏光刻胶下部的导电膜或绝缘膜，并且其对光刻胶下部的导电金属膜或绝缘膜具有极佳的缓蚀能力。

公开(公告)号：CN101454872B

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN200780019163.2

申请日：2007-05-25

Applicant: LG化学株式会社

Inventor： 韩熙 ,  朴珉春 ,  金璟晙 ,  徐圣佑 ,  权赫俊 ,  安庆昊 ,  崔棅圭 ,  闵盛晙 ,  黄智泳

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/425

Abstract: 本发明涉及一种光刻胶剥离剂组合物、用该光刻胶剥离剂组合物剥离光刻胶的方法以及制备液晶显示器或半导体器件的方法。在剥离工艺和剥离光刻剂的已知步骤中，该光刻胶剥离剂组合物能够在短时间内在低温下彻底剥离由于过度的光刻工艺造成的变性的光刻胶膜，即使仅通过水而非异丙醇作为中间冲洗溶液进行冲洗也不破坏光刻胶下部的导电膜或绝缘膜，并且其对光刻胶下部的导电金属膜或绝缘膜具有极佳的缓蚀能力。