金属图案形成用转印膜及金属图案形成方法

    公开(公告)号:CN101425441A

    公开(公告)日:2009-05-06

    申请号:CN200810172562.9

    申请日:2008-10-28

    Abstract: 本发明提供一种金属图案形成用转印膜,该金属图案形成用转印膜是在支持膜上按抗蚀剂层、厚为1~20μm的金属层以及玻璃浆料层的顺序层叠而成的,且所述玻璃浆料层含有玻璃粉末和粘结树脂,该粘结树脂来自具有亲水性基团的单体的构成成分为5质量%以下;本发明还提供形成这些层而进行的金属图案形成方法。根据本发明的金属图案形成用转印膜和金属图案形成方法,可以制造电阻低的电极,进而在显影工序中,能够维持FPD部件的透明性,能够阻止金属箔从玻璃浆料层剥离,此外在蚀刻工序中,能够防止抗蚀剂层从金属箔脱离。

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