公开(公告)号：CN101529334A

公开(公告)日：2009-09-09

申请号：CN200780039162.4

申请日：2007-08-21

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 工藤和生 ,  吉田武司 ,  增子英明 ,  板野考史

IPC: G03F7/033 ,  G02B5/20 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/40 ,  H01J9/02 ,  H01J9/227 ,  H01J11/02

CPC classification number: H01J9/02 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0047 ,  G03F7/027 ,  G03F7/033 ,  H01J9/242 ,  H01J11/12

Abstract: 提供可形成高精度的图案、同时有机成分的热分解性优异、且烧结后的收缩少、含有至少具有1个SH基的碱溶性树脂(A)、多官能(甲基)丙烯酸酯(B)、光聚合引发剂(C)和无机颗粒(D)的感光性树脂组合物；以及使用该组合物的图案形成方法。