公开(公告)号：CN104932199A

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201510113387.6

申请日：2015-03-16

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 成濑秀则 ,  井本裕显 ,  高见朋宏 ,  川部泰典

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/09

Abstract: 本发明提供保存稳定性良好且能够形成耐溶剂性也优异的固化膜的放射线敏感性组合物。其含有(A)聚合物、(B)聚合性化合物和(C)放射线敏感性聚合引发剂，上述(A)聚合物选自下述聚合物(A1)、聚合物(A2)和聚合物(A3)且是聚合物(A1)或者是聚合物(A2)和聚合物(A3)的组合，聚合物(A1)：具有环氧乙基和氧杂环丁基的聚合物，聚合物(A2)：具有环氧乙基的聚合物(其中，不包括上述聚合物(A1))，聚合物(A3)：具有氧杂环丁基的聚合物(其中，不包括上述聚合物(A1))，上述(A)聚合物中的环氧乙基(oxi)与氧杂环丁基(oxe)的比例以摩尔比(oxi/oxe)计为3/97～50/50。

公开(公告)号：CN104932199B

公开(公告)日：2019-10-08

申请号：CN201510113387.6

申请日：2015-03-16

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 成濑秀则 ,  井本裕显 ,  高见朋宏 ,  川部泰典

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/09

Abstract: 本发明提供保存稳定性良好且能够形成耐溶剂性也优异的固化膜的放射线敏感性组合物。其含有(A)聚合物、(B)聚合性化合物和(C)放射线敏感性聚合引发剂，上述(A)聚合物选自下述聚合物(A1)、聚合物(A2)和聚合物(A3)且是聚合物(A1)或者是聚合物(A2)和聚合物(A3)的组合，聚合物(A1)：具有环氧乙基和氧杂环丁基的聚合物，聚合物(A2)：具有环氧乙基的聚合物(其中，不包括上述聚合物(A1))，聚合物(A3)：具有氧杂环丁基的聚合物(其中，不包括上述聚合物(A1))，上述(A)聚合物中的环氧乙基(oxi)与氧杂环丁基(oxe)的比例以摩尔比(oxi/oxe)计为3/97～50/50。