公开(公告)号：CN103140551B

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201180047387.0

申请日：2011-09-28

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 池田宪彦 ,  中村真一

IPC: C08L33/04 ,  C08F220/18 ,  C08F224/00 ,  C08L37/00 ,  G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0397 ,  C08F220/18 ,  C08F224/00 ,  C08L2312/06 ,  C09D133/04 ,  G03F7/004 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物，其含有［A］具有来自下述式（1）表示的化合物的结构单元（I）和来自下述式（2）表示的化合物的结构单元（II）的聚合物、［B］产酸体和［C］有机溶剂。式（1）中，R1与构成内酯环的碳原子一起形成碳原子数3～8的环结构。R2为氟原子、羟基或碳原子数1～20的有机基团。a为0～6的整数。a为2以上时，多个R2可以相同或不同，也可以互相结合而形成环结构。其中，R1和R2中的至少1个基团具有杂原子或卤素原子。

公开(公告)号：CN103140551A

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201180047387.0

申请日：2011-09-28

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 池田宪彦 ,  中村真一

IPC: C08L33/04 ,  C08F220/18 ,  C08F224/00 ,  C08L37/00 ,  G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0397 ,  C08F220/18 ,  C08F224/00 ,  C08L2312/06 ,  C09D133/04 ,  G03F7/004 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物，其含有［A］具有来自下述式（1）表示的化合物的结构单元（I）和来自下述式（2）表示的化合物的结构单元（II）的聚合物、［B］产酸体和［C］有机溶剂。式（1）中，R1与构成内酯环的碳原子一起形成碳原子数3～8的环结构。R2为氟原子、羟基或碳原子数1～20的有机基团。a为0～6的整数。a为2以上时，多个R2可以相同或不同，也可以互相结合而形成环结构。其中，R1和R2中的至少1个基团具有杂原子或卤素原子。