公开(公告)号：CN105899920B

公开(公告)日：2017-10-31

申请号：CN201580004000.1

申请日：2015-01-20

Applicant: J.A.伍兰牡股份有限公司

Inventor： 马丁·M·理帕特 ,  杰夫·S·海乐 ,  贺平 ,  盖伦·L·梵菲尔

IPC: G01J4/00

CPC classification number: G02B17/0621 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0414 ,  G01J4/00 ,  G01J4/04 ,  G01N21/21 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0076 ,  G02B27/0012 ,  G02B27/286

Abstract: 一种反射型光学器件系统(RFO)，优选地需要具有射束反射表面的凸面(M3)和凹面(M4)反射镜的存在，其应用实现了将电磁辐射的射束聚焦到样本(OB)上，(其可以沿着与入射射束(IB)的轨迹不同的轨迹)，基于来自于所涉及的各个反射镜(M1)(M2)(M3)(M4)的经调整的入射角和反射角，偏振状态对输入射束的偏振状态具有最小化的影响。

公开(公告)号：CN105899920A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201580004000.1

申请日：2015-01-20

Applicant: J.A.伍兰牡股份有限公司

Inventor： 马丁·M·理帕特 ,  杰夫·S·海乐 ,  贺平 ,  盖伦·L·梵菲尔

IPC: G01J4/00

CPC classification number: G02B17/0621 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0414 ,  G01J4/00 ,  G01J4/04 ,  G01N21/21 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0076 ,  G02B27/0012 ,  G02B27/286

Abstract: 一种反射型光学器件系统(RFO)，优选地需要具有射束反射表面的凸面(M3)和凹面(M4)反射镜的存在，其应用实现了将电磁辐射的射束聚焦到样本(OB)上，(其可以沿着与入射射束(IB)的轨迹不同的轨迹)，基于来自于所涉及的各个反射镜(M1)(M2)(M3)(M4)的经调整的入射角和反射角，偏振状态对输入射束的偏振状态具有最小化的影响。