公开(公告)号：CN103094031A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201210438995.0

申请日：2012-11-06

Applicant: FEI公司

Inventor： N.W.帕克 ,  M.W.乌特劳特 ,  D.塔格尔 ,  J.格雷厄姆

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J9/00

CPC classification number: G21K1/00 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/0453

Abstract: 实现一种改进的限束孔阑结构及制作的方法。在位于支撑衬底中的空腔上方的薄的导电膜中制作孔阑开口，其中孔阑的尺寸和形状由导电膜中的开口确定，而不是由衬底确定。

公开(公告)号：CN111579890B

公开(公告)日：2022-11-15

申请号：CN202010100620.8

申请日：2020-02-18

Applicant: FEI 公司

Inventor： J.格雷厄姆 ,  L.克拉尔

IPC: G01R29/24

Abstract: 聚焦离子束杂质鉴定。具有带电粒子束(CPB)透镜和离子束柱的双束系统可以在分析模式下运行。在所述分析模式下，来自所述离子束柱的离子束可以由CPB偏转为包含主离子束和一个或多个非主离子束的一个或多个分量束。所述双束系统可以鉴定所述非主离子束的离子种类。

公开(公告)号：CN103094031B

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201210438995.0

申请日：2012-11-06

Applicant: FEI 公司

Inventor： N.W.帕克 ,  M.W.乌特劳特 ,  D.塔格尔 ,  J.格雷厄姆

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J9/00

CPC classification number: G21K1/00 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/0453

Abstract: 实现一种改进的限束孔阑结构及制作的方法。在位于支撑衬底中的空腔上方的薄的导电膜中制作孔阑开口，其中孔阑的尺寸和形状由导电膜中的开口确定，而不是由衬底确定。