公开(公告)号：CN105914122A

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201610103111.4

申请日：2016-02-25

Applicant: FEI公司

Inventor： H-W.雷米格伊

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: G01N1/2813 ,  G01N1/42 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/208 ,  H01J37/28

Abstract: 一种制备用于在带电粒子显微镜中进行研究的样本的方法，包括如下步骤：?提供具有基本上彼此平行的相反面的基本上平坦的样本保持器，该样本保持器包括至少一个孔径，该至少一个孔径连接所述面并且已经跨该至少一个孔径安装了膜片，该膜片包括至少一个穿孔；?使含水液体的薄膜跨越在所述穿孔上，该液体包括悬浮在其中的至少一个研究样品，尤其包括下述步骤：?在所述跨越步骤之前，在远离所述样本保持器的一侧处，放置吸水材料的吸水薄片以紧密接触所述膜片的第一表面；?通过所述孔径沉积所述含水液体并且将所述含水液体沉积到所述膜片的第二表面上，所述第二表面与所述第一表面相反；?随后从所述膜片去除所述吸水薄片。

公开(公告)号：CN106872500A

公开(公告)日：2017-06-20

申请号：CN201610729505.0

申请日：2016-08-26

Applicant: FEI 公司

Inventor： H-W.雷米格伊

IPC: G01N23/22

CPC classification number: H01J37/26 ,  F25B19/005 ,  F25D3/10 ,  G01N1/2813 ,  G01N1/42 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/002 ,  G01N23/2202 ,  G01N2223/07

Abstract: 本发明涉及用于带电粒子显微镜的低温样本的制备。一种为带电粒子显微镜中的研究制备样本的方法，由此该样本经受使用致冷剂的快速冷却，包括下面的步骤：‑提供用于输送低温流体的两个导管，这些导管中的每一个都打开进入管口，这些管口被布置成跨介于中间的间隙而面对彼此；‑将样本放置在所述间隙中；‑通过所述导管泵送低温流体以便从所述管口同时冲刷，由此从两个相对面将样本突然浸入在低温流体中。