公开(公告)号：CN103946684B

公开(公告)日：2017-06-23

申请号：CN201280059036.6

申请日：2012-11-30

Applicant: FEI 公司

Inventor： P.基迪 ,  B.彼得森 ,  G.达斯 ,  C.亨利 ,  L.德沃金 ,  J.布莱克伍德 ,  S.斯通 ,  M.施米德特

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/3056 ,  C23C14/5833 ,  G01N1/32 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3005 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 一种用于TEM样品制备和分析的方法，该方法可以用于FIB‑SEM系统中，而不需要对薄层或机动化的翻转台进行重焊、卸载、用户处理。该方法允许具有典型倾斜台的双束FIB‑SEM系统用于提取样品以形成衬底、将样品安装至能够倾斜的TEM样品支座上、用FIB铣削将该样品打薄、以及旋转样品从而使得样品面垂直于用于STEM成像的电子柱。

公开(公告)号：CN107084869A

公开(公告)日：2017-08-22

申请号：CN201710041560.5

申请日：2012-11-30

Applicant: FEI 公司

Inventor： P.基迪 ,  B.彼得森 ,  G.达斯 ,  C.亨利 ,  L.德沃金 ,  J.布莱克伍德 ,  S.斯通 ,  M.施米德特

IPC: G01N1/32 ,  H01J37/26

Abstract: 一种用于TEM样品制备和分析的方法，该方法可以用于FIB‑SEM系统中，而不需要对薄层或机动化的翻转台进行重焊、卸载、用户处理。该方法允许具有典型倾斜台的双束FIB‑SEM系统用于提取样品以形成衬底、将样品安装至能够倾斜的TEM样品支座上、用FIB铣削将该样品打薄、以及旋转样品从而使得样品面垂直于用于STEM成像的电子柱。

公开(公告)号：CN103946684A

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201280059036.6

申请日：2012-11-30

Applicant: FEI公司

Inventor： P.基迪 ,  B.彼得森 ,  G.达斯 ,  C.亨利 ,  L.德沃金 ,  J.布莱克伍德 ,  S.斯通 ,  M.施米德特

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/3056 ,  C23C14/5833 ,  G01N1/32 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3005 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 一种用于TEM样品制备和分析的方法，该方法可以用于FIB-SEM系统中，而不需要对薄层或机动化的翻转台进行重焊、卸载、用户处理。该方法允许具有典型倾斜台的双束FIB-SEM系统用于提取样品以形成衬底、将样品安装至能够倾斜的TEM样品支座上、用FIB铣削将该样品打薄、以及旋转样品从而使得样品面垂直于用于STEM成像的电子柱。