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公开(公告)号：CN106024563A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610189965.9
申请日：2016-03-30
Applicant: FEI公司
Inventor： A.马丁 , G.麦克克雷迪 , M.托思
IPC: H01J37/28 , H01J37/26
Abstract: 本发明涉及使用工艺气体和冷却的表面的带电粒子束处理。一种冷阱被提供以减少在使用工艺气体的操作期间与束反应的污染物气体。所述冷阱被设置成使污染物气体冷凝但是不使工艺气体冷凝的温度。冷阱可以用于样品腔中以及气体管线中。
