Patent search ap:("EV 集团 E·索尔纳有限责任公司") AND inv:"J·M·苏斯" Page 1

1.

发明公开
用于键合基底的方法和装置审中-实审

公开(公告)号：CN115552590A

公开(公告)日：2022-12-30

申请号：CN202080101440.X

申请日：2020-06-29

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： D·辛纳 , T·瓦根莱特纳 , J·M·苏斯 , T·普拉奇 , J·马林格

IPC: H01L21/687 , H01L21/683

Abstract: 提出了一种用于弯曲基底(7)的基底保持器(1',1'',1''')以及一种相应的方法，该基底保持器具有：‑用于固定基底(7)的固定板(3)；‑用于弯曲固定板(3)的弯曲器件(6,6',6'')，其中，固定板(3)如此构造，使得基底(7)的曲率可有针对性地进行调整。

Patent Agency Ranking