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公开(公告)号：CN109314125A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780038790.4
申请日：2017-06-02
Applicant: AMS有限公司
Inventor： 休伯特·叶尼切尔迈尔 , 马丁·施雷姆斯 , 格雷戈尔·托施科夫 , 托马斯·博德纳 , 马里奥·曼宁格
IPC: H01L27/146
Abstract: 一种3D集成光学传感器包括半导体衬底(100)、集成电路(200)、布线(300)、滤光器层(400)、透明间隔物层(500)和片上漫射器(600)。半导体衬底(100)具有主表面(110)。集成电路(200)包括至少一个光敏区域(210)并且布置在衬底(100)中主表面(110)处或其附近。布线(300)提供到集成电路(200)的电连接并且连接到该集成电路(200)。布线(300)布置在半导体衬底(100)上或半导体衬底(100)中。滤光器层(400)具有依赖于方向的透射特性并且布置在集成电路(200)上。实际上，滤光器层(400)至少覆盖光敏区域(210)。透明间隔物层(500)布置在主表面(110)上，并且至少部分地包围滤光器层(400)。间隔物厚度设置成限制滤光器层(400)的光谱移动。片上漫射器(600)布置在透明间隔物层(500)上。
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公开(公告)号：CN111164394A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201880062990.8
申请日：2018-08-30
Applicant: AMS有限公司
Inventor： 休伯特·叶尼切尔迈尔 , 格哈德·艾尔姆施泰纳
Abstract: 光学感测装置(10)包括光电探测器阵列(11)，包括至少一个第一光电探测器(12)和至少一个第二光电探测器(13)，光电探测器阵列(11)设置在半导体衬底(14)上。光学感测装置(10)还包括滤波叠层(15)，设置在衬底(14)上，并且覆盖光电探测器阵列(11)。滤波叠层(15)包括至少两个第一下部电介质镜(16)和至少两个第二下部电介质镜(17)，其中第一和第二下部镜(16、17)设置在第一光电探测器(12)上，并且第一和第二下部镜(16、7)设置在第二光电探测器(13)之上，并且其中第一下部镜(16)在垂直于衬底(14)延伸的主平面的垂直方向(z)上的厚度与第二下部镜(17)不同。滤波叠层(15)还包括设置在第一和第二下部镜(16、17)上的间隔叠层(18)，以及设置在间隔叠层(18)上并且覆盖光电探测器阵列(11)的上部电介质镜(19)。此外，提供了制造光学感测装置(10)的方法。
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公开(公告)号：CN109314125B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN201780038790.4
申请日：2017-06-02
Applicant: AMS有限公司
Inventor： 休伯特·叶尼切尔迈尔 , 马丁·施雷姆斯 , 格雷戈尔·托施科夫 , 托马斯·博德纳 , 马里奥·曼宁格
IPC: H01L27/146
Abstract: 一种3D集成光学传感器包括半导体衬底、集成电路、布线、滤光器层、透明间隔物层和片上漫射器。半导体衬底具有主表面。集成电路包括至少一个光敏区域并且布置在衬底中主表面处或其附近。布线提供到集成电路的电连接并且连接到该集成电路。布线布置在半导体衬底上或半导体衬底中。滤光器层具有依赖于方向的透射特性并且布置在集成电路上。实际上，滤光器层至少覆盖光敏区域。透明间隔物层布置在主表面上，并且至少部分地包围滤光器层。间隔物厚度设置成限制滤光器层的光谱移动。片上漫射器布置在透明间隔物层上。
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公开(公告)号：CN111164394B
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN201880062990.8
申请日：2018-08-30
Applicant: AMS有限公司
Inventor： 休伯特·叶尼切尔迈尔 , 格哈德·艾尔姆施泰纳
Abstract: 光学感测装置(10)包括光电探测器阵列(11)，包括至少一个第一光电探测器(12)和至少一个第二光电探测器(13)，光电探测器阵列(11)设置在半导体衬底(14)上。光学感测装置(10)还包括滤波叠层(15)，设置在衬底(14)上，并且覆盖光电探测器阵列(11)。滤波叠层(15)包括至少两个第一下部电介质镜(16)和至少两个第二下部电介质镜(17)，其中第一和第二下部镜(16、17)设置在第一光电探测器(12)上，并且第一和第二下部镜(16、7)设置在第二光电探测器(13)之上，并且其中第一下部镜(16)在垂直于衬底(14)延伸的主平面的垂直方向(z)上的厚度与第二下部镜(17)不同。滤波叠层(15)还包括设置在第一和第二下部镜(16、17)上的间隔叠层(18)，以及设置在间隔叠层(18)上并且覆盖光电探测器阵列(11)的上部电介质镜(19)。此外，提供了制造光学感测装置(10)的方法。
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