滤光片和LiDAR传感器用罩
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118050841A

    公开(公告)日:2024-05-17

    申请号:CN202311514987.4

    申请日:2023-11-14

    Abstract: 本发明涉及滤光片和LiDAR传感器用罩。本发明涉及一种滤光片,所述滤光片具有基材、层叠在所述基材的至少一个主面侧的介质多层膜和层叠在所述介质多层膜上的保护层,其中,所述介质多层膜具有包含非晶硅的层和折射率与所述包含非晶硅的层不同的层,所述保护层包含混合膜,所述混合膜包含选自钽、铌、锆、钛、铪、钨、锡、铈、铬、镍和钒中的至少一种金属的氧化物和二氧化硅。

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