公开(公告)号：CN110088681B

公开(公告)日：2022-11-15

申请号：CN201780079323.6

申请日：2017-12-12

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 张娜 ,  川岛正行

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

Abstract: 提供一种得到的分隔壁的显影密合性高且上表面具有良好的拒墨性、并且在点形成用的开口部显影残渣足够少的、负型感光性树脂组合物。一种负型感光性树脂组合物，其包含：具有光固化性官能团的碱溶性树脂(A)、包含在1分子中具有酸性基团和2个以上的光固化性官能团的多官能低分子量化合物(B1)的交联剂(B)、具有酸性基团和氟原子且酸值为10～100mgKOH/g的拒墨剂(C)、光聚合引发剂(D)和溶剂(E)。

公开(公告)号：CN110088681A

公开(公告)日：2019-08-02

申请号：CN201780079323.6

申请日：2017-12-12

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 张娜 ,  川岛正行

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

Abstract: 提供一种得到的分隔壁的显影密合性高且上表面具有良好的拒墨性、并且在点形成用的开口部显影残渣足够少的、负型感光性树脂组合物。一种负型感光性树脂组合物，其包含：具有光固化性官能团的碱溶性树脂(A)、包含在1分子中具有酸性基团和2个以上的光固化性官能团的多官能低分子量化合物(B1)的交联剂(B)、具有酸性基团和氟原子且酸值为10～100mgKOH/g的拒墨剂(C)、光聚合引发剂(D)和溶剂(E)。