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公开(公告)号:CN116848383A
公开(公告)日:2023-10-03
申请号:CN202180074260.1
申请日:2021-09-22
申请人: 11887041加拿大有限公司
发明人: 大卫·阿伦·普里斯图帕 , 约翰·斯蒂芬·帕卡克
IPC分类号: G01J1/10
摘要: 一种用于测量来自不同源,例如移动颗粒或每个颗粒上的不同空间位置,的辐射特性的方法,包括提供具有一系列配置的所有源共有的空间调制器;其中的每一种配置都使辐射通量沿路径传递到各自的调制端口,并使公共空间调制器循环通过每一调制端口,以便将该序列配置应用于每一调制端口。该序列配置包括基板上的光学元件的有序阵列。在一个实施例中,调制器围绕旋转分离盘的旋转轴布置成圆形。至少一个源是未与待分析源相互作用的参考源,并且将样本和参考源进行比较。