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公开(公告)号:CN101107081A
公开(公告)日:2008-01-16
申请号:CN200580043578.4
申请日:2005-10-19
Applicant: 麻省理工学院
Inventor: 阿舍·K·斯内恩斯基 , 安哥拉·M·贝尔谢尔
CPC classification number: B05D5/005 , C07K7/06 , C23C18/1608 , C23C18/1692 , C23C18/1831 , C23C18/1834 , C23C18/1879 , C23C18/1882 , G01N33/6845 , H01L21/28
Abstract: 本发明检测表明中离散和扩散的缺陷。可以修复损坏性能的离散缺陷。