公开(公告)号：CN102747327B

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201110162306.3

申请日：2011-06-13

Applicant: 馗鼎奈米科技股份有限公司

Inventor： 徐逸明 ,  陈彦政 ,  黄世明 ,  叶俊嘉 ,  陈姵菱

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/12

Abstract: 本发明涉及一种抗污薄膜的常压蒸镀方法、常压蒸镀装置与制作设备。此抗污薄膜的常压蒸镀方法包含下列步骤。提供一基材。对一抗污涂料溶液进行一气化步骤，以形成多个抗污蒸气分子。沉积这些抗污蒸气分子于基材的一表面上，以形成抗污薄膜。

公开(公告)号：CN102747327A

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201110162306.3

申请日：2011-06-13

Applicant: 馗鼎奈米科技股份有限公司

Inventor： 徐逸明 ,  陈彦政 ,  黄世明 ,  叶俊嘉 ,  陈姵菱

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/12

Abstract: 本发明涉及一种抗污薄膜的常压蒸镀方法、常压蒸镀装置与制作设备。此抗污薄膜的常压蒸镀方法包含下列步骤。提供一基材。对一抗污涂料溶液进行一气化步骤，以形成多个抗污蒸气分子。沉积这些抗污蒸气分子于基材的一表面上，以形成抗污薄膜。